中古 ASML AT-1150C #9412396 を販売中

ASML AT-1150Cは、半導体業界のリソグラフィに使用される高度な露光ツールです。高速、高スループット、低コストで設計された最先端のウェーハステッパーです。ASML AT 1150Cは、高度な光学系、非常に安定した正確な検査装置、および自動化された無人運転のための独自のウエハハンドリングシステムを利用しています。AT:1150Cは、光学ユニット、検査機、ウエハハンドリングツールの3つの主要コンポーネントで構成されています。この光学アセットは、6。0mm波長の水銀イン蒸気露光源とパルススプレースキャンモデルを利用しています。これにより、1。5nmの精度と215mm × 215mmの画像フィールドを備えた高解像度露光機能を提供します。検査装置は、インピクセル検出器を備えたQuadrant Detector Arrayを使用したリアルタイムスキャンシステムに基づいています。このユニットは、露出プロセスのすべての要素を監視することができ、ウェーハの詳細なマップを作成することができます。最後に、ウェーハハンドリングマシンは、全体的な所有コストを低く抑えて、自動化された無人運転を提供するように設計されています。最大4つのウェーハをサポートするステンレス製のトラックを使用し、最大19のユーザー定義可能なプログラムを事前プログラム化できます。AT-1150Cは、薄膜、積層膜、および石英、シリコン、金属などのあらゆる種類のウエハ基板を取り扱うことができます。さらに、ウェーハ位置を正確にするためのレイヤツーウェーハアライメントツールを搭載し、露出時のウェーハのずれを低減します。また、汚染防止メンテナンス資産を備えており、0。2 µmの粒子を扱うことができます。全体として、AT 1150Cは半導体業界の厳しい要件を満たすように設計された高度な露出ツールです。高度な光学、検査、ウェーハハンドリングシステムにより、高速、高スループット、低コストのオーナーシップ運用に最適です。