中古 ASML AT-1150C #9292620 を販売中

ASML AT-1150Cは、集積回路やその他のデバイスを製造するために半導体やその他の産業で使用されるウェーハステッパー、またはフォトリソグラフィ機械です。ステッパーは、水銀蒸気ランプ、レーザー、紫外線および近赤外線LED光学などの高度な光学技術を利用して、ウェーハなどの材料の表面にパターンと青写真のセットを正確に投影します。ウェーハステッパーは、本体と光学ヘッドの2つの主要なコンポーネントで構成されています。本体には4軸の装置が搭載されており、ウェーハを光学ヘッドから前後に移動させながら、水平方向、垂直方向、傾き方向に正確な動きを提供します。ベースプレート、精密回転ウェーハテーブル、フィードメカニズム、光学ヘッドムーバーが含まれており、すべてが5相ハイブリッドモータを使用してウェーハの正確な位置決めと転送を保証します。光学ヘッドには、ショートアークランプ、光学レンズシステム、アイリスダイヤフラム、および3つの光学ミラーが含まれています。ランプからの光のビームを集中させ、一連のエッチングされたパターンをウェーハ表面に投影するために使用されます。ASML AT 1150Cは、さまざまなプロジェクションプロファイルをサポートしているため、幅広い回路タイプに使用できます。自動アライメントユニットを備えており、数値アルゴリズムと光学位置決めの組み合わせを利用して、光学ヘッドをパターンまたは設計図ごとに正しい焦点位置に素早く調整します。さらに、ステッパーは、レイヤー露出、ウェーハチェック基準点、ウェーハ解析、プロセス最適化など、さまざまな機能のためにプログラムすることができます。専用AT:1150Cウェハマッピング計測機で使用すると、0。5 µmの分解能と0。3 µmのチップ設計レイアウト精度を実現できます。チップ設計におけるミスアライメントの誤差を低減するために、マルチフィールドアライメントやフィジカルアライメントなどのレーザーアライメント技術を搭載しています。この機械は、ウェーハの厚さ、コーティング、パターン欠陥を測定できる自動化されたプロセスコントロールモニターを使用しています。ASML AT-1150 Cは、わずか12秒のサイクルタイムで、高品質のチップ設計を迅速かつ効率的に作成できます。この機械はエネルギー効率も高く、ピーク時の電力はわずか0。7kWである。密閉された本体とほこりのない設計により、クリーンルーム処理を必要とするアプリケーションに最適です。さらに、ステッパーには、緊急停止スイッチや、緊急時に簡単に開くことができる毒シャッターなどの安全システムが装備されています。