中古 ASML AT-1150C #9226883 を販売中

ASML AT-1150Cは、MEMS、 QFN、 LEDパッケージなどの小型半導体デバイスの製造用に設計された高精度ウェーハステッパーです。この装置は5。5インチの視野を備えており、画像忠実度の高い最も複雑な構造物でもイメージングが可能です。NA （Numerical Aperture）が0。60の5X還元光学系とステッピングベースの回折還元により、視野全体で1。3ミクロンの分解能が得られます。システムは、光学ユニット、コントローラ、パターンジェネレータの3つのコンポーネントにグループ化されています。光学機械は空間フィルター、段階、対物レンズ、照明器具およびアライナーから成っています。ステージはコントローラに接続され、対物レンズの下のサンプルを正確に整列させるために使用されます。アライナーは、イメージングツールの正確な位置決めのために、対物レンズの角度方向を調整するために使用されます。コントローラは、生成されたパターンを保存するだけでなく、全体のアセットを制御および管理するために使用されます。モデルのPattern Generatorコンポーネントは、レーザーソースに基づいており、高解像度のパターンを生成します。視野全体で0。5ミクロンの解像度で回折限界画像を生成することができます。この機能は、5X低減イメージングおよびHigh NAオプティクスとともに、高い画像忠実度を持つ複雑な構造を生成するのに理想的です。この装置は高度にカスタマイズ可能で、複数のレンズ、温度調節器、およびさまざまな測定装置のような異なった選択と形成することができます。また、業界標準のマスクアライメントおよびパターン生成用ソフトウェアと統合されています。このシステムで使用される技術は高度で、非常に信頼性が高いです。このユニットはノンストップで動作するように設計されており、低メンテナンスコストを提供します。この機械は高い収率が可能であり、さまざまな形式で優れた画像を生成します。要約すると、ASML AT 1150Cは、最高の精度で高精度で高品質な画像を生成するように特別に設計された世界クラスのウェーハステッピングツールです。高度な光学系、高解像度パターンジェネレータ、さまざまなカスタマイズ可能な機能により、複雑な構造の製造に最適です。