中古 ASML AT-1150C #293617267 を販売中
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ASML AT-1150Cはウェーハステッパーであり、半導体操作に使用される機械です。半導体デバイス上でパターンを生成するために使用される写真の一種であるリソグラフィを実行するように設計されています。ASML AT 1150Cは、2インチおよび6インチのウェーハを処理するように設計された完全自動化された装置で、処理スループットは1時間あたり最大150ウェーハです。FPD-LBAフォーカシングとアライニングサブシステム、再現性ポジショニングシステムを備えています。AT:1150Cは、ステッピングモーターと標準マシンビジョンアルゴリズムを備えており、ウェーハアライメントマークを検出し、シーケンシング用のウェーハを正確に配置します。このマシンはまた、ウェーハアライメントに焦点を当てたフォトマスクだけでなく、自動レチクル交換機能を確保するための自動フォーカシングコントロールを提供します。AT-1150 Cは、露出コストとプロセス時間を削減し、優れた画質を提供するように設計されています。高速光学ユニットとコンピュータ制御のレチクルが搭載されており、複数の露光を実行する際に精度を確保します。また、自動カセットツールを備えており、最大50個のウエハを単一の同期動作でロードできます。このマシンには、可変スキャンサイズと解像度を備えたリアルタイム監視用の統合ウェーハ検査アセットも含まれています。さらに、このマシンは、優れた性能を保証するASML品質および信頼性プログラムの要件に準拠しています。結論として、AT 1150Cは、優れた画質、高スループット、および低コストの動作を提供するように設計された最先端のウェーハステッパーです。1カセットにつき最大50個のウェーハに対応しており、自動アライメントとフォーカス制御、統合されたウェーハ検査のための高度な機能を備えています。1時間あたり最大150個のウェーハのスループットと、ASMLの信頼性プログラムへの準拠により、最適な品質とパフォーマンスが保証されます。
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