中古 ASML AT 1100 #293813215 を販売中

ASML PAS 5500/1100は、リソグラフィーイメージングシステムの大手グローバルサプライヤーであるASMLによって製造された、非常に強力で高度な自動ウェーハステッパーです。集積回路（IC）などの半導体デバイスの量産において、精密で再現性のあるコスト効率の高いリソグラフィプロセス工程を実行するように設計されています。PAS 5500/1100は、幅広い半導体技術に対応できる自己完結型リソグラフィ装置です。最大1500個のウェーハ/時間のスキャンレートを備え、優れたスループットとコスト削減を実現します。ASML PAS 5500/1100は、高度なイメージャとパターンマッチングや欠陥検査などの高度なイメージングツールを備えており、最高の画質を提供します。最小線幅0。1 mで4 m以上の解像度で高品質な画像を作成 ことができます。PAS 5500/1100の自動化された環境により、プロセスの流れを迅速かつ正確に追跡し、工程のすべてのステップを最適化できます。これには、強力なソフトウェアツールとウェハマッピングの機能が含まれています。これは、特定のプロセスに最適なレシピを決定したり、条件を変更するためのパラメータを調整するために使用できます。さらに、システムのユニットコントロール技術は、正確な位置マッピングとプログレッシブ診断を提供し、ウェーハの精度を保証します。ASML PAS 5500/1100は、オペレータの安全性を確保し、潜在的な損傷から機械を保護する、幅広い安全機能を提供します。このツールの高度な安全機能には、シャッターで覆われた露出ポート、検出器の自動検出、および露出またはずれを防止するためのシングルシリンダバリアアセットが含まれます。さらに、PAS 5500/1100には統合ビジョンモデルが含まれており、優れたパターンマッチングのための高速かつ正確なアライメントを提供します。結論として、ASML PAS 5500/1100は、正確で再現可能なパターンを迅速かつ正確に生成することができる強力で費用対効果の高いウェーハステッパーです。先進的なイメージングツールや安全機能を幅広く提供し、ハイエンド半導体製品の大規模生産に適しています。堅牢な設計、優れた画像解像度、メンテナンスフリーの操作により、PAS 5500/1100は多くのリソグラフィ用途に適しています。