中古 ASML 700 #293760259 を販売中

ASML 700は半導体産業の大量のウエハ生産のための精密なフォトリソグラフィ印刷を提供するように設計されているウェハステッパーです。装置の極めて高い精度と再現性により、小型ジオメトリ機能や高度なシステムコンポーネントに最適です。700は精密リソグラフィー装置で、1。0ミクロンの小さな特徴を高精度に印刷することができます。ステッパーに組み込まれた高度なアライメントと測定機は、露出とマスクの迅速かつ正確なアライメントを提供することにより、高精度と再現性を維持します。これにより、ステッパーによって印刷された機能は、異なるウエハ間でサイズと形状が一貫していることが保証されます。ASML 700には、露出を正確にオーバーレイするために、マスクをウェーハ上で同期させて移動させる大規模な高解像度マスカライナーがあります。ウェーハは真空段階で保持され、印刷プロセス全体を通して完全に安定した状態に保ちます。ステッパーに内蔵されたオーバースキャン補正とアンチライトブルメカニズムにより、意図した領域外の露出が可能な限り高い精度でキャンセルされることを保証します。このツールは、ウェーハ上の重要な形状パラメータ（サイズや形状など）を安全かつ正確に測定する高度なスキャナとイメージングシステムを使用しています。その後、このデータを分析して、ウェーハがパラメータ内にあり、プロセス全体を通じて特定の精度のレベルにとどまることを確認できます。700には、ユーザーがステッパーのモーションコントロールメカニズムによって実行される詳細なプロセス指示とプログラムを入力できるソフトウェアベースのツールも付属しています。これにより、最も複雑なプロセスやリソグラフィーパターンでも、最高の精度と再現性で印刷することができます。さらに、高度なソフトウェアにより、印刷前にさまざまなプロセスシミュレーションを実施し、最も正確な結果を得ることができます。全体として、ASML 700は強力で信頼性の高いウェーハステッパーであり、半導体産業における大量のウェーハ生産に精密かつ再現可能なリソグラフィ印刷を提供するさまざまな機能を備えています。アセットの高度な制御ソフトウェアと効率的なアライメントメカニズムにより、最も困難で複雑なデバイスでも、非常に正確で再現性の高い結果が得られます。