中古 ASML 5500 / 60 #9092942 を販売中

ASML 5500/60は、半導体生産におけるフォトリソグラフィに使用されるウェハステッパーです。半導体チップの表面に集積回路などの微細な形状を形成するために使用される高精度で自動化されたイメージング装置です。本質的には、ウェーハ基板に回路などのパターンを正確に露出させるために使用される大型顕微鏡です。フォトマスクは、被写体ウエハ上に整列して焦点を合わせ、水晶光ウィンドウを介して光源で選択的に露出します。このようなパターンを生成するために必要な精度には、複雑なアライメントと非常に高い精度が必要であり、5500/60にはこれを達成するためのさまざまな技術が搭載されています。ASML 5500/60には圧電式直線段機構が搭載されており、ミクロンレベルの解像度で滑らかな直線運動を提供します。いくつかの補償方法とセンサーにより、エンコーダ支援ステージコントローラ、干渉レベルのステップ、光電子フォーカス検出などの精密な移動が可能になり、すべてのデバイスがウェーハにパターンを正確に転送することができます。また、マスクをウェーハと比較して正確な配置を確保する自動アライメントも装備しています。処理のために、5500/60は容易に構成し、調節することができるいろいろな光源、数値の開きおよび露出時間を特色にします。さらに、基板表面と平行に移動する特殊な積層ステージを装備し、平坦性を高め、光学系が可変オーバーハングのために異なる深さを通過できるようにします。ASML 5500/60には、緊急シャットオフシステムなどの堅牢な安全機能と、ウェーハの搬送を妨げるものがあれば、すぐに被験者ウェーハを開始位置に戻すことができる自動検索機能も装備されています。その他の機能としては、グラフィックユーザーインターフェイス、内蔵の絶縁および環境制御、アクティブな振動低減、および品質管理を強化するための露出後の画像解析などがあります。結論として、5500/60は、半導体チップの表面に集積回路などの微細な特徴を形成するために使用される汎用性と精密なウェーハステッパーです。このマシンには、洗練された動き、アライメント、安全機能が搭載されており、すべてが非常に効率的で協調的なリソグラフィープロセスを可能にします。