中古 ASML 5500 / 100C #9032667 を販売中

ASML 5500/100Cは、半導体製造に使用されるリソグラフィーマシンの一種であるウェハステッパーです。このマシンは、レンズとミラーのシリーズを使用して、ウェーハに転送することができる画像を作成します。ASML 5500/100Cは、非常に細かいディテールの画像を作成できる高解像度モデルで、高性能な仕様のデバイスを製作することができます。5500/100Cは、最大露光サイズ100mmのウェーハに画像を転送することで、最高レベルのリソグラフィを実現します。160mm、 200mmオートフォーカス投影レンズを搭載し、高精度で再現性の高い各種パターンや基板の印刷が可能です。5500/100Cには、1 x用と5 x用の2つの高解像度マスクがあり、8レベルの照明レベルを作成できます。この光学機器はTwinMotionステージと統合されており、最大3つのウェーハを収容でき、露出したウェーハと露出していないウェーハの間を移動するときに高スループットを実現します。また、ASML 5500/100Cには、ウェーハを必要な座標に正確に配置できる高精度のステージ位置決めシステムを搭載しています。これは、ステージの位置に正確なフィードバックを提供する内蔵モーターエンコーダの助けを借りて行われます。また、CCDカメラを搭載しており、画像を正確に捉えることができます。ASML 5500/100Cは、低真空環境を備えており、大気中の塵の粒子の影響を低減するのに役立ち、低温環境では、レンズとミラーが指定された公差内にとどまることを保証します。5500/100Cには、マルチプロセス統合プログラム、生産追跡用のデータロギングユニット、リアルタイムフィードバック用の自動監視機などの高度な機能も搭載されています。全体的5500/100Cは、高品質で高解像度のウェーハステッパーであり、ハイエンドのリソグラフィの精度と再現性を高めるためのさまざまな機能を提供します。ASML 5500/100Cは、多彩な機能と細かいディテールで画像を生成する機能を備え、高性能な半導体デバイスの製造に信頼性の高いソリューションを提供します。