中古 ASML 5500 / 100 #9040162 を販売中

ASML 5500/100は、コンピュータチップの製造に使用されるウェーハステッパー装置です。このシステムにより、フォトリソグラフィ処理中にマスクやレチクルからウェーハに正確に情報を転送することができます。このユニットは、ユーザーの介入を最小限に抑えて正確かつ一貫して情報を転送することができ、高品質で効率的な半導体部品の生産を可能にします。ASML 5500/100は6つの独立したモーターを備えた機械を特徴とする6軸の設計を利用しています。これにより、基板の滑らかな動きが可能になり、イメージング位置を標的にし、これまで以上に高速になります。6。2mmx6。2mmまでのイメージサイズで、300mmまでの基板に対応可能です。このツールはまた、0。7um x 0。7umの最大視野を持ち、解像度は0。1umです。このアセットは、光学イメージング、光学パターニング、マスクアライメントなどの高精度の光学サービスを提供します。光イメージングは、ある基板から別の基板への画像転送を可能にし、光パターニングは、パターン情報の連続的で高精度なトレーサビリティを提供します。高精度のマスクアライメント機能により、パターンを正確に再現できます。光学サービスに加えて、モデルはまた、マスクまたは基板へのレチクルの正確かつ一貫した露出を保証する露出制御サービスを提供することができます。この装置は、複数の種類の波面センサを使用して波面の収差や歪みを検出し、露光プロセスで補正することができます。全体として、5500/100は高度なウェーハステッピングシステムであり、高精度の光学サービスと露光制御機能を提供することができます。これは、ある基板から別の基板に正確に画像を転送することができ、ユーザーの介入を最小限に抑えた半導体部品の一貫した生産を可能にします。