中古 ASML 5000 / 55 #9049734 を販売中

ASML 5000/55は、半導体製品の製造に使用されるウェーハステッパーです。これは、基板上の小さな特徴を画像化することができる高度なリソグラフィーベースのツールです。ASML 5000/55は電子ビーム（eビーム）リソグラフィ装置で、走査型電子カラムと2段階の光学系を利用して、ウェーハやチップ上のパターンを画像化します。電子ビームカラムは、高電圧ビームを利用して電子を表面に集中させて偏向させ、そこで画像を作成します。光学ステージは、ビームを拡大して焦点を合わせ、非常に微細な解像度の画像を作成します。5000/55は、4nmという小型のイメージング機能を備えています。これは、より小型で高速なマイクロプロセッサの開発に不可欠です。大容量の生産用に設計されており、最大6インチのウェーハを処理でき、1ウェーハあたりのサイクルタイムはわずか5秒です。このシステムは、電子カラム、光学ステージ、ビームブランカ、光学シャッター、真空システム、ウェーハ輸送ユニットなど、いくつかの個々のコンポーネントで構成されています。電子カラムは、電子ビームを作成し、指示するために使用される高電圧エレクトロニクス、電磁石、およびコンポーネントの精密メカニズムです。光学ステージは、ビームが基板上の望ましい特徴を作成するように操作されることを保証するために、さまざまな要素を利用します。ビームブランカと光学シャッターは、ビームと基板の相互作用のポイントを制限するために使用されますが、真空機械はイメージングに最適な低圧環境を作り出します。最後に、ウェハトランスポートツールは、光学シャッターと組み合わせて、イメージングプロセス中に基板を確実に所定の位置に保持することを保証します。5000/55は6平方メートル未満のフットプリントを持ち、その能力の資産のために比較的コンパクトと考えられています。取付け、作動することは容易ですが、必要な真空環境を作成し、コラム内の高圧を維持するために要求される複雑な力学および工学は技術的な専門知識を要求します。