中古 ASML 5000 / 50 #69343 を販売中

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製造業者
ASML
モデル
5000 / 50
ID: 69343
ウェーハサイズ: 6"
Steppers, 6" Floppy drive: 5.25", can be converted to 3.5" floppy TEP Kay pneumatic (1 unit does not have this) Mark 3 E chuck Mark 3 P chuck No memory upgrade.
ASML 5000/50は、半導体業界のさまざまなタスクに使用されるハイテクなウェーハステッパーです。このデバイスは、集積回路、またはコンピュータチップの生産のための重要なコンポーネントです。ステッパーは、高度に専門化された光学システムを使用して、1つのレイヤーを一度にスキャンします。その後、各スキャンは前のレイヤーと正確に整列され、ウェーハからプロセッサをレイヤ単位で組み立てることができます。微細加速ガラスレンズとガルバノメトリックミラーを採用し、フォトマスクの正確な配置を実現します。微小加速ガラスレンズを作動させると、自動的に2点間を回転し、ウェーハの特定の領域に単一の光線を投影します。ガルバノメトリックミラーはウェーハの座標を読み取り、光ビームを移動する必要がある場所に正確に向けることができます。このプロセスは、レイヤーがスキャンされるたびに繰り返されます。ASML 5000/50には加熱ステージも装備されており、ウェーハを均一な温度に保つことで、より効率的なレイヤースキャンを実現します。これにより、ウェーハの熱膨張を低減し、最終製品の歪みを低減します。このデバイスは、フォトマスク間の正確なオーバーレイアライメントを可能にするオーバーレイアライメント機能も内蔵しています。このアライメントは、完成品の正確性を確保するために不可欠です。5000/50には、液体窒素充填ポートを含むさまざまな安全機能が装備されています。この機能により、システム全体の異物の透過を防ぎ、デバイスの清潔さを確保します。最後に、5000/50には、手動クリーニングの必要性を最小限に抑える内蔵のクリーンインプレイス(CIP)機能も搭載されています。これにより、機械のメンテナンスに必要な手動時間を効果的に短縮すると同時に、手動プロセスによる汚染物の導入のリスクを最小限に抑えます。ASML 5000/50は、最先端のコンピュータチップの製造に不可欠な強力で高度に専門化されたデバイスです。レイヤーバイレイヤーアセンブリから高精度なフォトマスクのアライメントまで、さまざまな重要なタスクを実行します。さらに、デバイスの安全性と効率性を確保するさまざまな機能も装備されています。
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