中古 ASML 4022-436-46005 #172297 を販売中

ASML 4022-436-46005は、集積回路生産におけるアプリケーション向けに設計された最先端のウェーハステッパーです。8インチのウェーハアライメント機で、自動6軸コントローラと精密リニアスケールを使用して、フラットウェーハを高精度に配置できます。この機械のパワーと精度により、集積回路の量産において重要な役割を果たし、各回路をウェーハ上に正確に配置することができます。4022-436-46005は、0。5ミクロンまでの距離を測定できる高精度の光学機器を備えており、パワーフォーカスイオンビームリソグラフィーシステムを備えています。ウェーハはステージ上に配置され、ステッパーは表面の平坦度を測定し、自動的にアライメント計算を行います。ロボットアームは、これらの計算に基づいてウェーハを所望の位置に移動します。投影されたイオンビームは、ウェーハの表面をスキャンするため、繰り返しオンになります。ビームは、電子設計オートメーションソフトウェアによって生成されたパターンを正確に再現するために変調されます。ASML 4022-436-46005は、ウェーハとステージの間に一貫した接触抵抗を生成することもできます。これは、ステッパーにウェーハを吸い込む精密真空ユニットによって実現され、常にウェーハに一貫した圧力を供給します。これにより、回路の精度と品質が生産中も一貫していることが保証されます。4022-436-46005は部品および機械の完全性を保障するために洗練された安全機械を実装します。これには、加工工程で放出されるアブレード粒子との接触を防ぐ安全扉が含まれます。機械の内部は静電気および電磁干渉から保護する特別な化学薬品と上塗を施してあります。ウェーハステッパーには、潜在的な問題を自己診断できる特別な機能も含まれています。さらに、自動クリーニングツール、電源、その他の電子機器は、一定の監視によって監視および維持されます。最後に、ASML 4022-436-46005には使いやすいソフトウェアが装備されており、さまざまな部品、材料、フォームファクタにすばやく適応できます。これにより、ダウンタイムと最大スループットを最小限に抑え、あらゆる生産ラインの重要なコンポーネントとなります。