中古 ASML 2500/40 #9004040 を販売中

ASML 2500/40は、半導体装置の大手メーカーであるASMLが開発した高度なウェーハステッパーです。これは、集積回路とマイクロプロセッサの製造のためのフォトリソグラフィープロセスを最適化するように設計されています。ステッパーは、迅速な応答、正確な動き、高いパターン精度、およびサイクルタイムの短縮を特徴とし、チップメーカーは設計のサイズ、速度、複雑さをさらに進めることができます。ASML 2500/40は、245mmスキャンフィールド、56nmの効果的な分解能、および毎時1400ウェーハのスループットを備えています。それはすべての主要なマスクのサイズおよび材料と互換性があり、0。18°arcsecの再現性および0。8nmの正確さが可能です。この装置はASC 200 Zチルト技術を採用しており、プロセス性能を向上させるためにマスクステージの水平、垂直、回転運動を可能にします。ステッパーのコンパクトなDUV照明システムは、DUV/157nm放射を使用して、高解像度のイメージングを可能にし、消費電力とフットプリントを削減します。光学ユニット、光学経路、投影レンズ、スリット、ビームデフレクターなどの高度なビーム供給コンポーネントが含まれています。スリットアセンブリは赤外線光保護を提供し、極端な温度条件のために設計されています。2500/40はネットワーク環境で動作し、Webベースのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。これにより、プロセス制御と稼働時間を最大化するための設定に簡単にアクセスして調整できます。また、トレーサビリティと品質管理のためのツール管理とデータ分析機能も備えています。2500/40は信頼性が高く高度なウェーハステッパーで、56nmまでの機能サイズで複雑なデバイス構造をサポートするように設計されています。デュアルステージ補正技術、高精度で効率的な照明ツール、高度なツール管理機能を備えたASML 2500/40は、ウェーハあたりの低コストで、これまでにないレベルのパフォーマンスを提供します。