中古 ASML 2500/40 #293828002 を販売中
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ASML 2500/40ウェーハステッパーは、集積回路の大量生産用に設計された洗練された半導体リソグラフィ装置です。それは極度な精度と効率を持つ専用のステップアンドリピートステッパーです。このシステムは、リソグラフィーモジュール、ステージモジュール、マニピュレータモジュール、およびデジタルコンピュータコントロールユニットの4つの主要なサブシステムで構成されています。リソグラフィーモジュールは、レジストコーティングされたウェハのデータを積極的に転送するために使用されます。投影機、フォトマスク、照明源を内蔵し、最適な画像転送を実現しています。ステージモジュールは、ステージベース、X-Y- θマニピュレータ、レンズツールで構成されています。これは、正確かつ正確な画像転送のための投影光学を駆動するために使用されます。マニピュレータモジュールは、ウェーハを前後に移動させるために使用され、最大スループットの高速スキャン機能を提供します。デジタル制御資産は、高速プロセッサ、通信インターフェース、および最適なパフォーマンスと優れたサービスをユーザーに提供するソフトウェアパッケージで構成されています。ユーザーとモデル間の最適なインターフェースを提供します。また、書き込み時間とウェーハの歪みを最大限に低減するデュアルビーム機能も備えています。高度な機能とASML 2500/40ウェーハステッパーの優れた精度により、ハイエンドのリソグラフィーソリューションを必要とする組織に最適です。この高性能システムにより、1時間あたり最大175ウェーハの速度が可能になり、最大スループットを実現します。このユニットの高精度な幾何学的性能は、クローズドループ制御機によって保証され、正確で反復可能な画像処理が可能です。2500/40で使用される高品質レンズは、ダイナミックフォーカス調整、軸外画像転送、および正確な軸外レーザーアライメントを備えています。2500/40ウェーハステッパーには、光学性能に影響を与えることなくマスクを迅速に交換できるトップエンドのフォトマスクチェンジャーも装備されています。この機能により、レンズフォーカスドリフトによるウェーハプリントの欠陥がなくなります。最後に、操作とメンテナンスを容易にするために、このツールには高度なユーザーインターフェイス、診断および復元機能、および自動校正ルーチンが付属しています。
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