中古 ASML 2500/40 #293828001 を販売中

ASML 2500/40は、光学リソグラフィ装置の技術リーダーであるASMLによって製造された最先端のウェーハステッパーです。ASML 2500/40は、高度な光学系を使用して、シリコンウェーハ上のパターンを高精度かつ高解像度で画像化および投影します。2500/40は19の独立した軸を誇り、リソグラフィープロセス中にウェーハを検査および調整するための完全な恒星および傾き/回転制御を提供します。マシンの中心には、多軸ジンバルスタイルのミラーと432セグメントの投影レンズアセンブリがあります。この装置は、動作温度が10C-30Cであり、必要な圧力環境を維持する真空整流システムを備えています。プロジェクションレンズは、アルゴンフッ化レーザーを使用して、シリコンウェーハに正確にパターンを投影します。2500/40はフルフィールド照射を使用して、0。2ミクロンから40。5ミクロンまでの特徴サイズの高精度パターンを作成します。このマシンには、ウェーハアライメント、欠陥管理、レシピ開発など、いくつかの自動化されたプロセスも含まれています。ASML 2500/40は、1時間あたり最大500ウェーハの生産スループットで30秒未満でウェーハを調達することができます。高性能を確保するために、ASML 2500/40には高度な波長ユニットが装備されており、X/Y偏光を制御してパターン配置、オーバーレイ、抵抗応答を改善します。独立した照明機は、最適化されたイメージングの忠実度とコントラストを提供します。また、ツールの一部は、最適なパフォーマンスを確保するための洗練されたリアルタイム障害検出と補正アルゴリズムです。2500/40は、高精度かつ高スループットのリソグラフィ操作用に設計された最先端のウェーハステッパーです。多軸設計、高品質の光学、高度なオートメーションにより、2500/40は2番目に優れた精度と再現性を提供します。この効率的で信頼性の高い資産は、最新の半導体製造のすべてのタイプに最適であり、集積回路の精度と迅速な生産のための強力なツールです。