中古 ASML 2500/40 #293827878 を販売中

ASML 2500/40は、半導体集積回路（IC）の製造に使用されるリソグラフィ装置であるウェーハステッパーのモデルです。ICの基板であるシリコンウェーハに基本パターンと複雑パターンを印刷するために使用できます。装置はインライン電子ビームソーススキャナシステムによって動力を与えられます。このソーススキャナは、40kVで最大2500nmの解像度で高精度なパターンを生成することができます。ウェーハステッパーは、インラインソーススキャナ、光学カラム、ステージ、ソフトウェアユニットの4つの主要要素で構成されています。インラインソーススキャナは、精密制御機構を備えており、パターン転送に必要な電子ビームを提供します。20um ±のアライメント精度と3um ±のスポットサイズ精度を備えています。光学カラムは、多数のレンズとビームを定義する絞りで構成されています。電子ビームの投影とウェーハ上のパターン形成を制御する責任があります。アライメント精度は± 5umで、解像度は0。50umです。このステージは、ウェーハの正確な移動と回転を提供します。0。50umの直線移動精度を持ち、最小ステップサイズは0。001umです。ソフトウェアツールは、パターンをウェーハに設定して転送するために使用されます。ASML 2500/40ステッパーは、高度なIC生産の要求を満たすように設計されています。高速なスループットレートと、画像ステッチ、高度な冷却システム、独自の画像補正アルゴリズム、自動最適化などの高度な機能を備えています。また、堅牢な設計により、過酷または不利な条件下でも、マシンはピーク性能で動作し続けることが保証されています。2500/40ウェーハステッパーは、高度なICを製造するための貴重なツールです。複雑なパターンを高精度に印刷し、高いスループットと高品質を維持することができます。この技術を活用することで、半導体企業は信頼性と耐久性に優れたチップを製造することができ、成長を続けるエレクトロニクス業界のニーズに応えるように設計されています。