中古 ASM WS 896 #9181638 を販売中

ASM WS 896は、最先端の光学マイクロリソグラフィックマシンを使用して、大容量ICおよびMEMS製造用のウェーハを露出および開発するウェーハステッパーです。この装置には、多軸ウェーハハンドリングシステム、統合露光サブシステム、高度なプロセスモニタリングユニット、および完全自動化されたウェーハクリーニングステーションが含まれています。ステッパーは、300mm/秒のステージ速度（加速/減速曲線付き）を使用して、ウェーハサイズの範囲にわたって正確で高いスループットパターンを保証します。さらに、レーザー誘導センタリングによりウェハの周辺エッジをマッピングし、最適な配置精度を実現します。ASM WS896は、多数の露光技術に対応するためにスキャンの広いフィールドを可能にする高解像度ウェーハ位置決めマシンを備えています。スキャン光学機器には、アクロマティックレンズと2つの露光源（g-lineとi-line）を備えた可変的な数値開口投影が含まれています。このツールには、クローズドループのスキャナ間の同期アセットと統合された高度なマルチゾーンステージも装備されており、精度が向上します。このモデルは、高度なTTLとTTLを使用して、リソグラフィー誤差を補正し、高精度のパターン配置を保証するために使用されるオプションのバイナリ補正アライメント技術を使用します。自動化されたバルクローディング装置は、効率的なウェーハのローディングとアンロードを保証し、スループットを向上させます。プロセスモニタリング機能の面では、WS 896には独自のイメージングおよび臨界寸法（CD）計測システムが搭載されています。このユニットは、各ダイの露出前および露出後の画像を監視し、自動欠陥識別を行います。さらに、光学ベースのプロセスコントロールマシンを使用して、グラビアプロセスと非グラビアプロセスを監視し、プロセスドリフトを検出します。このツールは、ドライベースのウェットクリーニングプロセスを使用して露出したウェーハを自動的に洗浄することもできます。このプロセスは、ウェーハ表面を追加の欠陥を作成することなく洗浄し、ウェーハの歩留まりと品質を向上させます。すなわち、大容量ICやMEMS製造に使用できる高性能ウェーハステッパーアセットがWS896です。高精度のウェーハ位置決めモデルを搭載し、広いスキャン領域を可能にし、クローズドループのアライメント装置を使用して精度を向上させます。このシステムには、イメージングおよびCD計測ユニット、自動ウェーハ洗浄ステーション、およびプロセスの安定性を確保する光学ベースのプロセス制御マシンが装備されています。