中古 ASM WS 896 #9176106 を販売中

ASM WS 896は光学ステッパーであり、リソグラフィを目的としたウェーハの正確な位置決めを可能にします。高いステッチ精度とスピードを備えた290mmのスキャン領域を備え、最高の均一性を実現します。また、内蔵のビジョンシステムと自動ウェハローディング/アンロードを備えています。これにより、半導体製造プロセスの開発に適しています。ASM WS896は、ダイレクトドライブ電動リニア軸システムと安定化された照明ユニットを使用して、最大スキャン速度10,000mm/秒で動作する場合、優れた精度と安定性を維持することができます。振動に強い設計で、±3µmの位置決め再現性に優れているため、浅いトレンチ分離やダブルパターニングプロセスに最適です。WS 896は、ビルトインビジョンシステムと自動ウェハローディング/アンロードを備えており、スループットを向上させます。ステージ上の自動パターン認識は、シングルパターニングとダブルパターニングの両方に柔軟なアライメントをサポートします。電動ズームレンズにより、6x〜60xの倍率調整が可能で、最適な解像度とフォーカスが得られます。さらに、WS896は、一般的なUVからDUVまで、さまざまな露出ツールをサポートしています。多数の露出オプションと高い柔軟性を備えたアプリケーションには、大型フォーマットのリソグラフィやエッチング、シンプルなマスクやアライメントレイヤーなどがあります。ASM WS 896は、4インチから12インチの範囲のウェーハサイズをスキャンし、1つのシステム内で最大8層のウェーハをサポートできます。最後に、その非常に低い故障率は、信頼性の高い長期運用に適しています。