中古 ASM WS 896 #9159227 を販売中

ASM WS 896は、半導体産業の生産設備の大手サプライヤーであるASM Linxによって製造された先進的なウェーハステッパーです。ステッパーは、高度なCMOS、 MEMS、およびMEMS-on-CMOSデバイスのリソグラフィプロセスを実行することができます。ウェーハステッパーには強力な3軸モーターが装備されており、デバイスのコンポーネント間の正確なアライメントを保証し、ウェーハの高精度な露出を保証します。この装置の4〜6mmスポットサイズは、単一の露出からゲートアレイのプロセスまで、幅広いプロセスを可能にします。また、ステッパーは最大露出速度が毎時500ウェハであり、生産速度とスループットを向上させることができます。さらに、システムには高度な光学ユニットが装備されており、ウェーハ基板全体に均一な照明を確保し、すべてのマスクと構造にわたって均一な光子線量を確保します。これにより、ASM WS896最も信頼性が高く正確なリソグラフィーツールの1つが利用可能になります。ステッパーには、生産エラーの低減に役立つアライメントとパターンチェック機能のフルスイートと、最高精度のクロスポジショニングマシンが内蔵されています。このツールには、資産パラメータのアライメントと最適化を可能にする最新のCCDモニターが付属しています。WS 896にはEasyRunエッチング制御ソフトウェアも搭載されており、ドライエッチングやウェットエッチングなどの精密なエッチング処理が可能です。エッチング制御ソフトウェアは、エッチング角度、エッチング速度、エッチング速度保護などのグローバルで高度なエッチングパラメータを可能にします。また、低振動ステッパー設計WS896採用し、発生するノイズを低減し、産業用途に適したモデルとなっており、工具の性能を高めています。また、温度監視、電源噴射、複数のユーザー設定可能な安全制限など、さまざまな安全機能も備えています。全体として、ASM WS 896ウェーハステッパーは、幅広いアプリケーションに適した幅広い機能と機能を備えた強力で信頼性の高いリソグラフィーツールです。ウェーハの生産レベルの精密露出からエッチング、プロセスの最適化まで、さまざまな生産要件に対応する信頼性の高い高精度ソリューションを提供します。