中古 ASM WS 896 #9144222 を販売中

ASM WS 896は、正確で反復可能なウェーハステッパー処理を提供するように設計された高度なウェーハステッパーです。これは、研究および産業用アプリケーションの両方に最適であり、最高の性能要件を満たすように最適化されています。ASM WS896は、4DOFモータ制御を備えた、大規模で高解像度の高度な光学レンズシステムを備えています。これにより、0。7ミクロンの精度で完全な3Dパターニングと表面フィーチャーが可能になります。このマシンはまた、超高速の複数の視野スキャンと60 μ mのフォーカスバリエーションを備えているため、さまざまなアプリケーション要件に対応した超微細イメージングとデータ取得が可能です。WS 896は毎秒1600ステップの最高速度で動作するため、ドリフトが最小限に抑えられ、高精度なスキャンが可能です。さらに、ステッパーには露出時間を制限する機能が装備されており、正確なパターン機能を保証します。また、正確なパターン位置決めのための光学エンコーダを提供しています。ステッパーは最大12インチまでのウェーハサイズを処理でき、さまざまなウェーハサイズのワークフローを可能にします。さらに、最適な加工を提供する300mm構成機能を搭載しています。WS896には、近接センサーと超精密クランプを備えた厳格な安全設計が含まれています。また、特許取得済みの最適化された4ポイントアクティブクランプを提供し、完全にフラットなウェーハと正確な位置決めを保証します。さらに、896型は、効率性と安全性の向上のために、完全に自動化されたウェーハローディング/アンローディングソリューションを備えています。それは手動および自動ローディングの両方を支えます。また、ウェーハステッパーはCCDアライメントを備えており、正確で再現性のある登録と彫刻を保証します。さまざまな標準制御システムと互換性があるだけでなく、そのソフトウェアパッケージは現実的な3Dシミュレーションと視覚化をサポートしています。結論として、ASM WS 896は、幅広いアプリケーションに適した信頼性と汎用性の高いウェーハステッパーです。その高度な光学系、正確なパターニング、安全で効率的なウェハローディングおよびアンロードにより、研究および産業要件に最適です。