中古 ASM WS 896 #9134186 を販売中

ASM WS 896は、コスト効率の高い生産のために設計された最先端のウェーハステッパーです。特徴制御に優れた曲面照明装置を採用し、精度の高い微細構造の製造が可能です。全体的に優れた設計を備え、システムは高速かつ効率的であり、幅広いアプリケーションをサポートします。ASM WS896ウェーハステッパーは、フィールドプレート設計と六角形の多軸モーションユニットを備えており、高精度なアライメントの柔軟性と優れたスループットレートを実現します。ヘキサポッドは、各ウェハを独立して移動させることができ、最大の安定性とスループットを提供します。さらに、ステッパーは、ガイド、登録、ウェハスキャンなどの複数の機能を実行することができます。また、ウェーハステージにおける画像の設計と最適化のためのテレセントリックレンズツールを備えたハイグレードな光学配置を備えています。この光学アセットにより、パターンがウェーハに正確に投影され、スリットのラジアルフィールドがモデルの性能と精度を向上させることができます。さらに、この装置は洗練された露出補正機能をサポートしており、フォーカスとパターニングエラーを低減し、プロセススループットを向上させます。このシステムはまた、高品質のマイクロストラクチャーの信頼性の高い生産を保証する、幅広いプロセスおよび画像制御機能を提供します。これらの機能には、自動フォーカスブレイク検出、高度なエッジ配置精度、クラスタ配置制御、および自動エッジ検出アライメントが含まれます。さらに、このユニットはマルチステップ補償器と自動ダイローテーションを使用しており、微細構造の正確な配置を保証します。結論として、WS 896は、コスト効率の高い生産のために設計された最先端のウェーハステッパーです。優れた設計、高品位の光学系、およびさまざまな性能と制御機能を備えたこのマシンは、高速で効率的であり、高精度で信頼性の高い微細構造の生産を保証します。