中古 ASM D1 #9399288 を販売中

ASM D1ウェハステッパーは、半導体集積回路の製造に使用される最先端のリソグラフィ装置です。主にマスクアライナーとして、ウェーハ上に2次元回路パターンを転送し、さらなる加工を行うために使用されます。ステッパーのユニークなデザインは、正確なアライメントを保証し、最小限の動きでマスクパターンに回路を公開します。D1ウェハステッパーは、さまざまな基板サイズに対応可能で、回折格子を使用した高度なビジョンシステムと、不整合を補正する楕円ストロボを備えています。また、視覚システムは、薄すぎる層を検出し、最適な露光時間に付着するように光源を調整することができます。ASM D1ウェーハステッパーは、1つの操作で複数のレイヤーを処理することもできます。感光性ポリマー、フィルム、ガラスなど、ウェハの向きをマスクのパターンに合わせて制御する専用の可動プラットフォームを備え、幅広い材料で作業することができます。露出工程中はウェーハを固定し、優れた安定性と解像度を実現します。D1ウェーハステッパーのユニークなデザインは、交換可能な光学機能の利便性も提供します。最高品質のイメージングを実現するために、目的の反射防止コーティング、収差制御用のユニークなコンデンサーシステム、調整可能なレンズ、マルチチャンネルイメージセンサーを備えています。精度と精度に加えて、ASM D1ウェーハステッパーの便利な設計により、ダウンタイムと最大稼働時間を最小限に抑えることができます。完全な回転可能な段階およびプログラム可能なモーター特徴は滑らかな、信頼できる、一貫した性能を提供している間処理の速度を高めるのを助けます。全体的に、D1ウェハステッパーは、大量の半導体プロセスのための優れたリソグラフィーツールです。堅牢な設計と信頼性の高い性能は、高い歩留まりを達成し、生産における精度、精度、一貫性を確保するのに適しています。