中古 ASM 9000 #9360909 を販売中

ASM 9000は、半導体製造で使用される集積回路またはICを作成するためのウェーハステッパーです。ウェーハにチップインプリントのオン軸投影と2次元アライメントを提供する高性能オプティクスを搭載しています。装置は、チップインプリントプロセスの精度を向上させる、すべての方向に動的なアライメントを可能にするフレーム配置に基づいています。システムは、ガルバノメーターを使用してユニットにロードされたウェーハを移動させる高度なステッピングエンジンを採用しており、ウェーハがステッピングモーターによって指示されるように移動するようにユーザーによって調整することができます。ステッピングモーターは最高速度10mm/sまでの精密な動きを可能にします。9000ウェーハステッパーは、チップイメージをウェーハに正確に露出させるために最先端の露出機を使用しています。高いフラックスを持つエキシマレーザーを採用し、最大3000ウェハ/時間のスループットと最大0。6ms/ラインの回路パターンのスキャン速度を提供します。また、露光時の高精度を保証するビームブランキングツールと、汚染を排除する完全密閉型レーザーチャンバーを採用しています。また、アセットは、ユーザーが露出力と線量を調整することができます。このモデルには、ユーザーが機械操作を監視し、重要なパラメータのトレーサビリティを可能にする可視化および制御機器も付属しています。このシステムはユーザーフレンドリーなオペレータインターフェイスを備えており、メンテナンスとプロセスの最適化を容易にする信頼性の高いデータアーカイブユニットを備えています。安全性の面では、ASM 9000ウェーハステッパーは、高輝度レーザービームへの危険な暴露から機械オペレータと近くのスタッフの保護を確保するように設計されています。多数の安全インターロック、冗長キーシステム、緊急時の遮断保護を備えたライトカーテンが付属しています。9000ウェーハステッパーの高度な設計と強力な性能により、ICの大量生産に最適です。精度、精度、プロセス制御機能により、技術的に高度なICを製造するための信頼性の高いツールとなります。