中古 ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4007H #9073954 を販売中

ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4007H Wafer/Mask Scrubberは、半導体加工アプリケーションでウェーハとマスク基板を処理するために設計された汎用性と洗練されたスクラバーです。このスクラバーは完全に自動化されたプロセスを備えており、粒子や酸化物の汚染を低減しながら、ウェーハとマスクの両方の基板をスクラブすることができます。KYX4007Hスクラバーには、ウェーハ用とマスク用の2つのスクラビングステーションが付属しており、両方のステーションを同時に使用して時間を節約できます。ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4007Hスクラバーは、伝統的な洗浄方法よりも改善されたスクラブ性能を確保するために、ユニークな超音波ノズル洗浄プロセスを利用しています。このプロセスでは、可変周波数超音波発電機を使用して高周波振動を発生させ、アルゴン-ガス-ドレンパージ空気のジェットが、汚染物質を除去して洗浄される基板の表面全体にわたって高速で流れます。さらに、スクラバーにはパワーレベルとスクラブサイクル数の設定が含まれており、ニーズに合わせて調整することができます。KYX4007Hスクラバーには、走行中のエネルギー節約に役立つ省電力設備も備えています。クーラントリサイクル装置を搭載し、スクラバーで発生する熱を回収し、運転に必要な電力量を削減します。さらに、スクラバーにはフローメーターと2つの調整可能な排気ガスが付属しており、洗浄プロセスを正確に制御できます。これらの機能に加えて、ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4007Hスクラバーはインテリジェント基板輸送ユニットを利用しており、異なるサイズの基板を処理することができます。このマシンはデュアルレールロボットドライブを備えており、処理中に基板を正確かつ一貫した移動を可能にし、手動で介入することなくスクラバーからウェーハを入出力する手段を提供します。最後に、KYX4007Hスクラバーには、赤外線センサー、アラームシステム、緊急シャットダウンシステムなどの強化された安全機能が搭載されているため、過酷で潜在的に危険な製造環境での使用に最適です。ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4007H Wafer/Mask Scrubberは高度で強力な洗浄ツールで、作業者の介入がほとんどなく、効率的にウェーハやマスク基板を洗浄することができます。精密オートメーション、省エネメカニズム、強化された安全機能により、半導体製造に最適です。