中古 YES 12-2P-CP #9272598 を販売中

はい12-2P-CPは経済的にウェーハおよびマスクの表面の清潔さを改善するのに使用される自動ウェーハおよびマスクのスクラバーです。12-2P-CPは、ウェットケミカルクリーニングと自動スクラブを組み合わせて、ウェーハとマスクの両方の表面を効率的に単一の操作サイクルで洗浄します。YES 12-2P-CPは、スライディングガントリー、クリーニングタンク、マスク、ウェーハスクラビングステーション、ウォータージェットスクラビングステーション、ポストスクラブ洗浄ステーション、空気乾燥ステーション、ケミカルリサイクルシステムに搭載されたロボットアームで構成されています。すべての部品は使いやすいタッチ画面の人間の機械インターフェイス（HMI）によって堅く制御されます。12-2P-CPのロボットアームは、ノッチ付き、バンプ付き、パッドパターンウエハなど、さまざまな基板の個々の仕様に対応するように設計されています。その柔軟性と精度により、ウェーハのさまざまな部分に正確に到達し、より良い結果を得ることができます。ロボットアームには、ウェーハサイズを測定し、ウェーハ表面の異物を検出できるビジョンシステムも装備しています。YES 12-2P-CPのクリーニングタンクには、クリーニングソリューションを攪拌するために使用されるいくつかの高圧ジェット機が装備されています。クリーニングソリューションには、ウエハとマスクの材料に依存する最適な界面活性剤が含まれています。洗浄プロセスは自動化され監視され、界面活性剤の濃度はいつでも調整できます。マスクとウェーハスクラビングステーションは、高速多腕ロボットアームを使用して、ウェーハの表面全体に均一なスクラビングパターンを適用します。このプロセスにより、粒子やその他の汚染物質が除去され、ウェーハやマスク表面が汚れのないようになります。ウォータージェットスクラビングステーションは、オイルフリーの水の高圧ジェットを使用して、パターン化されたマスクから残骸を除去します。ポストスクラブ洗浄ステーションは、ウェーハおよびマスク表面からの残留界面活性剤の除去に役立ちます。空気乾燥ステーションは、加圧空気と加熱乾燥機を組み合わせて使用し、残留洗浄液を除去し、ウェーハに閉じ込められた水分を蒸発させます。12-2P-CPは、洗浄前の浸漬、洗浄後の洗浄および乾燥、化学リサイクルなど、さまざまな操作サイクルを実行することができます。YES 12-2P-CPのケミカルリサイクルシステムは、洗浄液をリサイクルして再利用することを保証し、コストと環境に優しいものにします。全体として、12-2P-CPはウェーハおよびマスクのクリーニングのための効率的で経済的なツールです。それはさまざまな集積回路およびマイクロエレクトロニクス部品の製造で使用され、ウェーハとマスクの両方が汚染物質からきれい、自由であることを保障します。