中古 VIRON VVS-120144 and VVS-120120 #198040 を販売中

ID: 198040
Process exhaust scrubbers: (2) 58,000 CFM (2) 50,000 CFM (1) 22,000 CFM Multiple Exhaust Fans.
VIRON VVS-120144とVVS-120120ウェーハ&マスクスクラバーシステムは、6インチのシリコンウェーハとフォトマスクの自動洗浄と乾燥を提供します。半導体デバイスの製造には、クリーン、ドライ、高性能部品が不可欠です。VIRONのスクラバーシステムは、今日の電子機器製造に必要な厳しい基準を満たすために、6インチの部品の自動洗浄と乾燥を提供します。VVS-120144機器は、クリーンで乾燥したウェーハとフォトマスクを数分で提供します。自動化されたシステムは、スクラバーセル、ロボットアーム、乾燥およびCVCモジュールで構成されています。スクラバーセルは表面洗浄を行い、クリーンウェーハとマスクを徹底的に洗浄します。その後、ロボットアームはウェーハとマスクを乾燥および測定のためのCVCモジュールに転送します。VVS-120120ユニットは、クリーニングソリューションで使用するために設計されたシングルベイマシンです。これは、追加のロボットアームと乾燥およびCVCモジュールを必要とせずに、材料の同じ徹底的な洗浄と乾燥を実現します。各ツールは特許取得済みのV-Mossクリーニングとリンス技術を使用しています。この技術は、特別に設計されたブラシを使用して、部品の表面を攪拌し、きれいにします。同時に、高速で控えめなエアストリームは、残留物を洗い流すのを助けるために使用されます。V-Mossアセットは、表面汚染物質や粒子を優しく、しかもしっかり除去するように設計されており、高品質でクリーンな表面を確保しています。VVS-120144およびVVS-120120システムは、部品整合性のテストと監視もサポートします。システムには複数の組み込みテスト機能があり、信頼性の高い精度と再現性を確保するように設計されています。これには、部品の個々の表面レベルの電気特性をテストするためのスペクトルフォトメトリーおよび目視検査モジュールが含まれます。また、VIRONスクラバーシステムは、ソフトウェアプログラムと統合することができ、VIRON VVS-120144およびVVS-120120システムとクリーニング液のライブラリを接続します。この技術により、ユーザーは特定の材料や用途に最適化された洗浄ソリューションとパラメータを選択でき、より高い精度と一貫性を提供します。VVS-120144およびVVS-120120ウェーハ&マスクスクラバーシステムは、6インチウェーハおよびフォトマスクの自動洗浄および乾燥のための信頼できるソリューションです。特許取得済みのV-Mossテクノロジーは、穏やかで徹底的なクリーンを保証し、内蔵のテスト機能により信頼性の高い精度と再現性を保証します。ユーザーはまた、パフォーマンスを最大化するためにソフトウェア統合を利用することができます。
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