中古 VEECO / SSEC M3303 #9180788 を販売中

VEECO/SSEC M3303は、ウェーハとマスクの両方の機械的スクラブおよび自動洗浄用に設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。それは自動化された生産および実験室の使用、および接触表面のための保護で造られる特徴のために設計されています。SSEC M3303では、自動的にピックアンドプレースアライメントを使用した事前乾燥またはウェットスクラブ技術を使用しており、クリーニングプロセスの生産速度と精度の両方を向上させます。統合されたプログラム制御により、手動プロセスと比較してより正確で再現性の高い洗浄が可能になります。機械には回転式スクラバーヘッドが装備されています。これは、ウェーハの表面に接触し、各回転で粒子をそっと洗い流す一連の回転ブラシで構成されています。LPCVDとCVDウェーハの両方の洗浄が可能で、幅広いウェーハサイズに適しています。マスクスクラバーにはアップグレード可能なバージョンがあり、最も一般的なスクラバーヘッドはSSEC M400で、開口部とフレームの両方を最大8。5 MICまで洗浄できます。頭部の高度の設計はPSG555およびRTPのようなさまざまなマスクの基質のための正確なクリーニングを保障します。VEECO M-3303は、手動モードまたはバッチモードで操作でき、ユーザーフレンドリーな7インチカラータッチスクリーンを装備しています。保護された接触面が汚染されていないままです。また、低流体ソリューションモニターと自動洗浄サイクルを備えています。M-3303スクラバーは、幅広い洗浄用途に使用できる柔軟性を保ちながら、高いスループット生産率を実現しています。堅牢な制御システムで設計されているため、製造ラインへの統合など、精密な洗浄を必要とするあらゆる環境に最適です。VEECO/SSECの信頼性と再現性に優れた洗浄プロセスにより、VEECO/SSEC M-3303、自動化された生産環境と実験室環境の両方のウェーハおよびマスクスクスクラビングニーズに最適なソリューションとなります。