中古 ULTRATECH PC 602 #186831 を販売中

ULTRATECH PC 602 Wafer and Mask Scrubberは、半導体やマイクロエレクトロニクス用途向けのフォトマスクやウェハーなどの基板を洗浄し、洗浄するための自動装置です。信頼性の高いコンベアシステムを使用して、プロセスを通じて基板を輸送し、最高レベルの洗浄精度、再現性、精度を提供します。PC 602ウェーハとマスクスクラバーは、ツールの統合、プロセス設定、およびデータ管理を容易にするモジュラーコンセプトで設計されています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスは、オペレータがプロセスを制御、操作、監視するためのシンプルでアクセスしやすい方法を提供します。スクラバーのスマートプロセスロジック技術により、クリーニングプロセス全体にわたる基板パラメータ、スケジュール、履歴の強力なデータ管理とトレーサビリティが可能になります。ULTRATECH PC 602ウェーハとマスクスクラバーはデュアルチャンバー設計を採用しており、スクラバーは連続サイクルで同じラインでウェーハを処理できるため、スループットと生産性が大幅に向上します。デュアルプロセスチャンバーの柔軟性により、マニュアルスイッチングを必要とせずに、同じプロセスで異なる基板をスクラブすることができます。このユニットはまた、異なる基板間の簡単な切り替えのための完全に自動化されたツール「機械化」マシンを備えています。このツールのワッフルカセットは、迅速かつ簡単なローディング体験を提供し、クランプやツーリングの切り替えは必要ありません。スクラバーには、視覚的な上部荷重補助機能と正確な基板配置のための正確な荷重位置決め機能が装備されています。PC 602ウェーハとマスクスクラバーには、洗練された高解像度の空気圧プランジングツールが装備されています。プランジャーは、スクラビングプロセス全体にわたって均一な圧力と正確な直線性を提供し、完璧なプロセス結果を保証します。このスクラバーは、さまざまなウェハサイズ、マスクサイズ、および基板タイプをサポートするように設計されており、比類のない柔軟性と拡張性を提供します。また、ULTRATECH PC 602ウェーハおよびマスクスクラバーは、電力損失時の自動シャットダウンや、過熱や電力損失時の自動シャットダウンなど、さまざまな安全機能を備えています。これらの安全機能は、アセットが業界の安全基準に準拠しており、長年の信頼できる運用に耐えることを保証します。PC 602 Wafer and Mask Scrubberは、マスクやウエハ基板をスクラブするための高度で信頼性の高いソリューションです。その卓越した柔軟性、直感的なユーザーインターフェイス、安全性への配慮により、信頼性と高性能を保証します。