中古 ULTRATECH 603 #88598 を販売中

ULTRATECH 603は、集積回路（IC）ウェーハおよびウェーハステッパーを正確に洗浄するように設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。この高度な洗浄装置は、半導体クリーンアップ製品の製造に特化した石油化学エンジニアリング会社ULTRATECHによって製造されています。スクラバーは、フォトリソグラフィで使用される汚染された表面を洗浄するために液体および空気ベースの洗浄技術を使用しています。これは、洗浄剤と液体の溶液をウェーハまたはマスクの上にポンピングすることによって動作します。その後、汚染の溶解を容易にするために回転スプレーバーで表面をスクラブします。603は、既存のウェットベンチまたは垂直処理システムに簡単に統合するための小さなフットプリントを備えています。単一のノズル設計は、オプションの垂直攪拌システムと組み合わせて使用すると、均一な洗浄と洗浄が提供されることを保証します。このユニットには回転運動と振動運動が含まれており、すべての露出した表面を徹底的に洗浄できます。ULTRATECH 603の革新的なデザインには、ステンレス製スクラバーハウジング、耐腐食性ケーシング、および毎分最大150リットルを供給できる強力なポンプが含まれています。このポンプは、各基板に適切な圧力が適用されるように、精密タイマーによって制御されます。スクラバーには3点調整可能なクリーニングステーションもあり、各基板のスクラビングパラメータを効率的にカスタマイズできます。さらに、603は安全性と利便性のための高度な機能を提供しています。安全警報は安全でない作動状態をユーザーに即座に知らせるために単位に統合されます。また、モータ稼働中に閉じる自動シャッターマシンを搭載し、液体がモーターチャンバーに入るのを防ぎます。調整可能な排気ツールにより、粒子やその他の破片を指定されたコンパートメントにきれいに集めることができます。ULTRATECH 603は、集積回路の製造に使用される高度な材料を洗浄するための優れた選択肢です。強力なポンプと複数の調整可能な機能を備え、幅広い表面で効率的で均一な洗浄を提供できます。これに安全性と利便性の機能を追加し、ULTRATEHC 603は、効果的で信頼性の高いウェーハとマスクスクラバーを探している人にとって理想的な選択肢です。