中古 ULTRA-T EQUIPMENT / UTE SWC 111M #9196279 を販売中
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ID: 9196279
Sawed wafer cleaner
Photo mask
Substrate
High pressure DI water cleaner: Sawed / Scribe wafers or masks
Microprocessor control
Oscillating high pressure: 2500 Psi wash
With filtration 0.2 u
Variable spin speed dry cycle
With N2 assist
CO2 Re ionizing
4 x 4" chuck
Bowl diameter: 17.5".
ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SWC 111Mはウエハ&マスクスクラバーです。このスクラバーは、最大8インチのウェーハとマスクのスクラブとクリーニング用に設計されています。ウェーハとマスクの表面から粉塵や粒子を洗浄するための高性能の二軸スクラブ機能で構成されています。スクラバーには人間工学に基づいた吊りハンドルアームが装備されており、快適な使用を確保するために調整可能です。また、スクラビングプロセス中に良好なバランスと安定性を確保するために、低重心を備えています。カプセル化されたポンプで設計されており、漏れを防ぎ、よりスムーズな操作を提供するユニークなクローズドベアリング装置を使用しています。スクラビングヘッドには、ウェーハまたはマスクのサイズと使用される研磨材の種類を考慮するための調整可能な速度が装備されています。調整範囲は0〜30 RPMです。また、汎用性を高めるためのリバース機能もあり、ウェーハまたはマスクの両側から破片を取り除くことができます。スクラビングヘッドの速度は可変速度の前方および逆スイッチによって調節可能です。スイベルパッドストレージシステムは、効果的な洗浄を保証するように設計されています。パッドは、スクラビングプロセス中に研磨材の安定した流れを可能にするために安全に所定の位置に保持されており、スイベルは迅速かつ便利なメンテナンスを可能にします。この製品はまた、簡単な自動化と時間と労力の効率的な使用のためにマイクロプロセッサ制御されています。UTE SWC111Mには、UL 567規格の要件を満たす包括的な安全インターロックユニットが含まれています。このマシンは、オペレータとスクラブ装置の両方を保護し、内部の故障が発生した場合のそれ以上の操作を防止します。その他の安全機能には、無許可の人員をロックアウトするメンテナンスキー、およびスクラビングヘッドが入っている方向をオペレータに示すLEDが含まれます。ULTRA-T EQUIPMENT SWC-111Mは、さまざまな用途に適した信頼性の高い効率的なスクラバーです。洗浄時間を短縮し、最終製品の品質を向上させるのに役立つ、堅牢で高効率な製品です。調節可能な速度および人間工学的の設計によって、プロダクトはユーザーフレンドリーおよび信頼できる両方です。
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