中古 ULTRA-T EQUIPMENT / UTE SCS i124 #9190017 を販売中

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ULTRA-T EQUIPMENT / UTE SCS i124
販売された
ID: 9190017
ウェーハサイズ: 8"
Wafer clean tool, 8".
ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCS i124は、優れた洗浄性能と半導体ウェーハおよびマスク加工のプロセス歩留まり向上を実現するよう設計されたハイエンドウェーハおよびマスクスクラバーです。UTE SCS i124は、ウェーハ製造、光学デバイス製造、またはクリーンマスクやウェーハ表面を必要とするプロセスなどのマイクロエレクトロニクスアプリケーションに最適です。ULTRA-T EQUIPMENT SCSI124には、モーター駆動のスクラバーブラシと強力な超音波攪拌を備えたULTRA-Tの最高レベルの洗浄技術が含まれています。この洗浄方法を組み合わせることで、ウェーハ表面とマスク面の両方から最大2µm個の粒子をワンパスで除去することができ、基板に損傷を与えることなく、イメージングプロセスを大幅に改善できます。ウェーハとマスクスクラバーは、洗剤と脱イオン水の均一な分布をスクラブ表面に適用する精密制御水スプレーシステムによって駆動されます。統合されたリンスシステムは、ウェーハまたはマスクを洗浄し、画像処理前に粒子が除去されるようにします。ULTRA-T SCS i124の他の機能には、正確なクリーニング調整のための使いやすいタッチスクリーンコントロールパネルと、便利なロードとアンロードのためのサイドドアがあります。さらに、このスクラバーは人間工学に基づいて操作が簡単にできるように設計されており、回転アームを傾けたり回転させたりすることで、さまざまなタイプのウェーハまたはマスクのクリーニング作業に簡単に配置できます。ULTRA-T ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCSI124は、プロセス歩留まり、クリーナーウェーハおよびマスクサーフェス、および高品質の画像をユーザーに提供することができます。さらに、高度な洗浄技術により、スループットが速く、基板の摩耗が少なく、拒絶反応が少なく、高品質の製品が得られます。
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