中古 ULTRA-T EQUIPMENT / UTE PSC 122M #9301030 を販売中
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ULTRA-T EQUIPMENT/UTE PSC 122M Wafer&Mask Scrubberは、半導体製造プロセスにおけるウェーハおよびマスクの精密洗浄を提供するために設計された汎用性の高い機器です。このマシンは、優れた洗浄効果を達成するために、最大6つの300mmウェーハまたはマスクを同時にすばやく洗浄することができるハイスループットの自動装置を備えています。スクラビングプロセスは、ウェーハまたはマスクを快適で人間工学に基づいた環境で安全かつ確実に保持するリクライニングキャビネットで行われます。ブラシの高さ、振動周波数、温度範囲を調整できるため、スクラビングパラメータを細かく制御できます。内蔵のエアカーテンは、空気中の粒子がキャビネットに入るのを防ぐのに役立ち、ウェーハやマスクのより良い洗浄環境を可能にします。スクラビングプロセスは、マシンサイクル、ブラシ速度、温度、タッチカウントなどの操作を自動化する制御システムによって管理されます。さらに、異なるクリーニングサイクルのプログラミングを可能にし、ウェーハおよびマスク製造プロセスに必要な特定のクリーニングパラメータを満たします。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、内蔵メモリ、およびプログラマブルサイクル機能により、オペレータは必要に応じてマシンの設定とパラメータ設定を素早く調整することができます。また、ウエハ温度、ブラシ圧力、振動周波数、サイクルタイムなど、さまざまなパラメータとしきい値を設定できるモニタリングおよびアラームマシンを内蔵しています。これらのパラメータは、スクラビングプロセスを最適化し、潜在的な安全上の問題を防ぐために簡単に調整できます。UTE PSC 122M Wafer&Mask Scrubberは、最も要求の厳しい半導体製造の要件を満たすように設計されており、正確で効率的なウェーハおよびマスクスクラブに最適です。洗練されたデザイン、ハイスループットツール、堅牢な機能により、最新の生産設備に最適です。
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