中古 TOSETZ EX-007SU-DF #293629903 を販売中

ID: 293629903
Scrubbers (4) Chambers NW40 Inlet Flange exhaust, 6" TEOS SWAGELOK Nitrogen inlet, 14" Capacity: 200 L/min Make up water Drain line Water inlet: 3/4" Pipe Power supply: 200 VAC, 30 A, 50 Hz, 3-Phase.
TOSETZ EX-007SU-DFは、優れた粒子除去と汚染制御を提供するように設計された精密ウェーハおよびマスクスクラバーです。この機械は、3Dセンシング、高度なリソグラフィ、サブミクロンイメージングなど、半導体製造におけるプロセスに不可欠なアプリケーションの厳しい要件を満たすために開発されました。EX-007SU-DFは、さまざまな高度なスクラブ技術を使用して、ウェーハとマスクの両方を効果的に洗浄し、乾燥および濡れたスクラブを含む最高レベルの清潔さ、および最適な粒子除去を保証するために超音波スクラブを使用しています。TOSETZ EX-007SU-DFにはデュアルヘッドスクラビングチャンバーが内蔵されており、ウェットスクラビングとドライスクラビングの両方の技術を利用できます。ウェーハとフォトマスクは同時に洗浄され、最も困難な粒子や破片を除去し、優れた清浄度と汚染制御を保証します。また、ステンレス製で耐水性に優れているため、ウェットスクラブでの使用にも完全に安全です。また、EX-007SU-DFは強力な高圧空気循環器を備えており、スクラブ溶液を効果的に攪拌し、チャンバーから汚染物質を除去します。これは、スクラビングプロセスの有効性を向上させ、面倒で手動の攪拌タスクの必要性を排除するのに役立ちます。さらに、TOSETZ EX-007SU-DFにはインテリジェントな自動スクラビングシステムが装備されており、ユーザーは最小限の間隔で簡単にスクラビングタスクをプログラムして実行することができます。スクラビングサイクルを微調整し、繊細な材料に対応するために調整することもできます。EX-007SU-DFは200mmおよび300mmウェーハのキャリアを含むいろいろな基質、また200mmまでのサイズのフォトマスクを扱うように設計されています。このスクラバーの柔軟性により、幅広い基板を迅速かつ正確に処理できます。さらに、このチャンバーは人間工学に基づいて設計されたローディングチャンバーを備えており、製品のローディングを容易にします。全体として、TOSETZ EX-007SU-DFは最先端のウェーハとマスクスクラバーで、ウェーハとマスクの両方を最高レベルの清潔度で効果的に洗浄します。その強力な空気循環器と組み合わされたスクラブ技術の包括的なリストは、半導体製造のプロセスに不可欠なアプリケーションに最適です。その汎用性、使いやすいプログラミング、および基板互換性の範囲は、あらゆるスクラビングアプリケーションに最適なソリューションです。
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