中古 TOHO TECHNOLOGY Pre cleaner #293661626 を販売中

TOHO TECHNOLOGY Pre cleaner
ID: 293661626
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
12" 2003 vintage.
TOHO TECHNOLOGYプリクリーナーは、半導体製造で使用されるマスクやウエハの洗浄性に優れた先進的なウエハスクラバーです。プリクリーナーは、化学洗浄プロセスと組み合わせた最適化されたウォータージェットシステムを使用して、ウェーハやマスクの表面から最も頑固な粒子、汚れ、残留物を除去します。直径200mmから450mmまでのウェーハ洗浄が可能で、最大8枚のマスクを一度に処理できます。ウェーハ表面は、まず100 barのウォータージェット圧力で処理され、その後、表面汚染物質の量をさらに減らすために化学洗浄が行われます。全体のクリーニングサイクルは、人間のインターフェイスモニターによって自動化され、監視されるため、リアルタイムでスクラビングプロセスを監視することができます。モニターはまたオペレータが必要に応じて洗浄時間、圧力、および化学濃縮物を調節することを可能にします。TOHO TECHNOLOGYプリクリーナーのケミカルクリーニングシステムは、高度な洗浄剤を組み合わせてウェーハやマスクの表面から最も頑固な残留物を除去します。使用される化学薬品は環境に優しく、作り付けの計量装置によって制御された方法で加えられます。このプロセスには、脱オン水を使用して残った粒子や残留物を洗い流す洗浄ステージも含まれています。プロセスの最後のステップは、追加の洗浄または乾燥プロセスを加速する可能性を開くホットプレート乾燥です。熱い乾燥版は残りのクリーニングの化学薬品を蒸発させ、表面が完全にきれいであることを保障するのを助けます。全体的に、プリクリーナーは、ウェーハとマスクのための優れた洗浄と表面準備を提供するように設計された高度なウェーハとマスクスクラバーです。最適化されたウォータージェットシステムと詳細な化学洗浄プロセスにより、最も頑固な残留物や粒子が除去され、クリーンで汚染のない表面が残されます。TOHO TECHNOLOGYプリクリーナーは操作が簡単で、毎回品質の高い結果を提供します。
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