中古 TOHO TECHNOLOGY ME-11164 #9293021 を販売中

TOHO TECHNOLOGY ME-11164は、ウェーハとマスクの両方から高品質な結果と効率的な汚染物質の除去を保証するために設計された革新的なウェーハおよびマスクスクラバーです。この高度なスクラバーは、高圧スプレージェット、ハイドロスプレー洗浄、超音波、UV照射を組み合わせた、自動化された多段式洗浄プロセスで設計されています。洗浄プロセスの最初の段階は、ウェーハやマスクに洗浄液を噴霧し、同時に表面を攪拌して存在する可能性のある粒子を緩めるために使用される高圧スプレージェットを使用することです。第2段階では、衝撃波洗浄技術を使用して、残りの粒子を徹底的に除去します。この技術は、ウェーハとマスクの表面に付着した粒子を分解する複数の衝撃波を作成します。洗浄プロセスの第三段階は、ハイドロスプレー洗浄の使用を含みます。このプロセスでは、ウェーハやマスクに加熱して噴霧する特殊な洗浄液を使用して、残りの粒子を除去します。洗浄プロセスの第4段階は、ウエハーとマスクの表面に残る可能性のある粒子を分解するために超音波の使用を利用しています。最後に、洗浄プロセスの5番目と最終段階では、UV照射を使用して残りの粒子を破壊し、可能な汚染物質が除去されるようにします。自動クリーニングプロセスに加えて、オートシャットオフ機構やタッチセンシティパネルなど、クリーニングME-11164完了したときにユーザーに視覚的に警告するさまざまな安全機能が含まれています。この高度なスクラバーには、LCDディスプレイも備えており、クリーニングプロセスに関する詳細な情報をユーザーに提供し、各ステージで使用される設定を正確に制御することができます。TOHO TECHNOLOGY ME-11164は、ウエハーやマスクの自動スクラバーを必要とするラボや工場に最適です。この高度なスクラバーは優れた性能と精度を提供し、ウェハまたはマスクのクリーニング要件において信頼性の高いオプションです。