中古 THOMAS SWAN Epicat S2 #9017661 を販売中
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THOMAS SWAN Epicat S2は、半導体産業に最適な高効率ウェーハおよびマスクスクラバーです。Epicat S2は、ウェーハおよびマスク洗浄アプリケーションの両方に精密で一貫した信頼性の高い洗浄装置を提供する強力なスクラブ技術で構築されています。それはまたユーザーのための使いやすさのために設計されています。THOMAS SWAN Epicat S2は、ウェットスクラビングから蒸発洗浄まで、幅広い洗浄技術を提供しています。これにより、現代の半導体業界の厳しい仕様を満たすために効果的かつ効率的な洗浄プロセスを提供することができます。ウェットスクラビングシステムは、高度な超音波洗浄プロセスを採用しており、ウェーハとマスクに深く浸透して破片を効果的に除去することができます。蒸発洗浄プロセスは、混合研磨材、熱、空気を組み合わせてウェーハとマスクからの不要な粒子を蒸発させるドライメディアベースのプロセスです。このプロセスは、最もきれいな領域に到達することができるので、濡れたスクラブよりも効果的です。結果はよりクリーンで滑らかな表面で、ストリークや損傷はありません。Epicat S2は、堅牢な洗浄チャンバーと特許取得済みのノズル技術で構築されており、どちらも洗浄プロセスが効率的かつ効果的であることを保証します。高度なノズルユニットは、洗浄力と精度を高めるために特定の領域をターゲットに使用することができます。また、ウェーハやマスクを損傷から保護するアンチクロージング技術など、いくつかの安全機能が組み込まれています。THOMAS SWAN Epicat S2には、ユーザーがクリーニングプロセスを完全に制御できる自動プロセスモニタリングマシンも含まれています。このツールは、不正確なパラメータやスクラバー操作による潜在的な損傷など、クリーニングプロセスの変更をオペレータに通知します。また、ユーザーは簡単にクリーニング結果を最適化するための設定を調整することができます。Epicat S2は、最新の半導体産業に最適な高効率で信頼性の高いスクラバーです。パワフルで精密なスクラブ技術と自動化されたプロセスモニタリングモデルにより、ウェーハおよびマスククリーニングアプリケーションの両方に最適なソリューションです。
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