中古 THE SYSTEM TS-LAFW-1000 #9378338 を販売中

装置TS-LAFW-1000はウェーハおよびマスクをきれいにし、維持するために設計されている多目的で、高精度のスクラバーです。革新的なスクラブと除染プロセスを提供し、大量の製造施設に理想的なツールです。TS-LAFW-1000は独自の3段階スクラビングプロセスを採用し、生産機械にウェーハを配置する前に必要な清浄度と表面完成度を提供します。このスクラバーは、ウェーハを水溶液の高圧ジェットで洗浄するウェットスクラビングステージと、ウェーハ表面の粒子や表面汚染物質を高周波振動で除去する超音波スクラビングステージを利用しています。最終段階はウェーハの汚染を防ぎ、ウェーハの貯蔵の生命を高めるのを助ける乾燥段階です。システムTS-LAFW-1000は、内蔵の高解像度ビジョンユニットを使用して、ウェーハ表面の正確なリアルタイム解析を行い、最適な性能を得るために自動的にクリーニングパラメータを調整します。これにより、サイクルタイムが最小限に抑えられ、クリーンな部品の収率が高くなります。さらに、スクラバーには、スクラブの故障を防止し、貴重な生産時間を節約する高度な故障検出機が装備されています。クリーニングチャンバーは囲まれ、統合されたろ過およびガス捕獲用具が装備されています。これは、繊細なウェーハやマスクの最適な処理を確実にするために、最適な環境温度、圧力、湿度を維持しながら、汚染物質がスクラブ環境に侵入しないようにするのに役立ちます。ろ過およびガス捕獲資産は、環境に放出される前に、潜在的に危険なガスや粒子も除去します。TS-LAFW-1000は最高の生産効率を提供し、信頼でき、費用効果が大きいウェーハの処理およびマスクのクリーニングの解決を要求する半導体の製造設備のために完全です。高度な機能により、THE Model TS-LAFW-1000は大量生産と品質保証に最適なツールです。