中古 TENNANT T5 #9311698 を販売中

TENNANT T5は、半導体製造用に設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。これは、生産性を最大化し、ウェーハやマスクの洗浄に伴うコストを削減するために設計された、信頼性の高い、費用対効果の高いスクラブ装置です。T5は、電動ウェーハクレードルとクロスアームベース、ガイドロール、アームリフトレバーを含むアクチュエータのセットで構成されています。オートステージドライブは、ウェーハを横方向に移動させ、ウェーハを360度フル回転させるように設計されています。スクラブヘッドは、レジストと基板の両方を研磨剤でスクラブして、基板損傷なしでウェーハを完全に洗浄するように設計されています。TENNANT T5はユーザーフレンドリーなインターフェースで動作します。ユーザーは、所望のクリーニング性能を達成するために、圧力、速度、タイマー設定などのパラメータの任意の数を選択することができます。ユーザーは、ウェーハサイズやその他の基準に基づいてマシンを自動的に停止させて起動させることもできます。マスク材料の複数の層で動作するように設計されており、最大450mmのマスクとウエハサイズを処理し、0。1ミクロンの精度で再現性を提供します。これにより、ロット全体でプロセスの一貫性と均一性が向上します。T5は、乾燥機やリダイレクトを必要とせずにウェット粒子や基板を効率的に除去するウェットスクラビングプロセスを使用しています。これにより、最終製品の品質とスループットを向上させながら、プロセス時間を大幅に短縮できます。TENNANT T5には、低圧誘導、低圧警告、緊急インターロックなどの安全機能が組み込まれています。これにより、ウェーハやマスク素材の人身傷害や破損を防止します。T5は、プロセス監視と制御を可能にするデータ収集システムを備えています。このユニットは、ウェーハ/マスク統計と一緒にスクラブ速度や圧力などの動作変数を記録し、トレーサビリティのためのプロセスロギングを可能にします。TENNANT T5は、汚染を低減し、歩留まりを改善し、プロセスドキュメントを最大化するために設計された非常に汎用性の高いスクラビングマシンです。このツールは、クリーンウェーハとマスクを保証します。その効率性と費用対効果は、多くの企業にとって有益な全体的な経済的優位性をもたらします。