中古 TEL / TOKYO ELECTRON SS-4 #293830625 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON SS-4は、マイクロエレクトロニクス製造のために効率的にウェーハとマスクの両方を準備するための自動化技術を利用した、費用対効果の高いウェーハとマスクスクラバーです。この装置は、製造プロセスで使用する前に、不純物からウェーハとマスクの両方を洗浄する効果的な方法を提供します。吸入部には、ウェーハやマスクを洗浄するローディングテーブルが装備されています。TEL SS-4は、専用のブラッシングメカニズムを使用して、ウェーハやマスクの表面から破片を統合されたスクラビングバスケットに持ち上げます。このスクラビングシステムは、表面の粒子、毛穴に閉じ込められた粒子、およびウェーハやマスクの表面に存在する可能性のあるその他の破片を除去するように設計されています。東京電子SS-4のスクラビングユニットは、最も効果的な洗浄を確保するために、加圧エアジェットと化学溶剤を組み合わせて使用しています。エアジェットの圧力は、再突入物の特徴から粒子を分解するのに役立ちますが、溶媒は残骸を分解するのに使用されます。これらの2つのアプローチの組み合わせは、表面にしっかりと貼り付けることができる粒子を緩めるのに役立ちます。ウエハまたはマスクを十分に洗浄すると、SS-4の出力コンベアベルトに分配されます。TEL/TOKYO ELECTRON SS-4機は、クリーンルーム規格に適合するよう設計されており、100万個あたり10粒子未満の環境でのウェーハやマスクの加工に最適です。ウエハスクラブとマスクスクラブのプロセスは、細部に細心の注意を払う必要がある繊細なプロセスです。TEL SS-4はこの目的のために設計されています。その構造で使用される高度な技術は、粒子がさらなる汚染のリスクを最小限に抑えて表面から効果的に除去されることを保証します。また、TOKYO ELECTRON SS-4の自動設計は、複数のウエハやマスクを短時間で処理できることを意味し、産業用クリーニングの効率的かつ費用対効果の高い選択肢となっています。
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