中古 TEL / TOKYO ELECTRON SS-4 #293814162 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SS-4ウェーハ&マスクスクラバーは、保管時や加工時に発生する酸化物や粒子を除去し、半導体ウェーハやマスクの洗浄・メンテナンスを行う自動装置です。ウェット、ドライクリーニング、プラズマクリーニング技術を搭載し、ウェーハやマスクを迅速かつ徹底的に洗浄します。具体的には、ウェーハスクラバーは、ウェーハとマスクの領域に到達するために効果的にハードをきれいにするために、革新的な、マルチステージプロシージャを使用しています。ユニットは完全に自動化されており、単一のコントロールパネルで操作できます。これは、ユーザーが特定のタスクのクリーニング設定をカスタマイズできるように自動化されたプログラム設定を備えています。さらに、すべての材料を徹底的に洗浄するのに役立つ自動洗浄サイクルが装備されています。出力は常に監視され、高品質の結果を保証します。ウェットスクラビング手順は、特殊な洗浄液でコーティングされた一連のベッドで構成されています。これは、汚染物質の効果的な洗浄を可能にする超音波アクチュエーションと組み合わされます。ドライスクラビングプロセスは、ドライクリーニングプロセスとプラズマストリームによる機械スクラビングを利用しています。プラズマストリームは汚染物質の構造を変化させ、除去を容易にします。汚れを取り除くと、ウェーハに溶剤と洗剤を加えてさらに洗浄します。TEL SS-4は強力で効率的なウェーハとマスクスクラバーで、複数の洗浄サイクルで最適な結果を得ることができます。それは自動パージサイクルの制御の下で据え付け品の完全なクリーニングを保障します。再現性と一貫性を確保するために、機械にはプロセス条件を監視するための温度と湿度センサーが内蔵されています。このツールは、最も過酷な生産条件下でも、高品質で反復可能な結果を維持することができます。さらに、特定のアプリケーションに合わせて複数の柔軟性オプションを提供します。