中古 TEL / TOKYO ELECTRON SS-4 #293658182 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SS-4は、半導体加工に使用される洗練された自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。粒子の汚染を最小限に抑えるように設計されており、高度なスクラバー技術を使用して、ウェーハ表面からタフで頑固な粒子を穏やかかつ効率的に除去し、最大限の効率と最小限の摩耗でマスク部品をスクラブおよびクリーンにします。このユニットは、ウェーハステッパー、フォトマスク、プラズマエッチングシステム、スピンクリーナー、その他のコンポーネントなど、さまざまな材料の自動スクラブに最適なソリューションです。この装置はコンパクトな設計で、耐久性と信頼性を保証する堅牢なステンレス鋼で構成されています。また、簡単な操作と柔軟なプログラミングを可能にする最先端のソフトウェアプラットフォームも組み込まれています。TEL SS-4には、パラメータの適切なナビゲーションとビューのための大きなタッチスクリーンディスプレイを含む直感的なユーザーインターフェイスが付属しています。一体型のコンタミネーションモニタリングセンサーにより、粒子の汚染を安全かつ正確に検出し、必要なスクラブのしきい値に達したときにユーザーに警告します。高度なスクラバーは、ウェーハやマスクの広い範囲のための優れた洗浄機能を提供する高効率ブラシスクラビングアクションを採用しています。また、調整可能なスクラブ方向、調整可能なスクラブ圧力、および最適なスクラブ結果に最適化できる可変スクラブ速度を備えています。従来のブラシ、ダイヤモンドブラシ、フォームブラシなど、必要に応じて交換できる複数種類のブラシを搭載し、洗浄効率の向上を図っています。TOKYO ELECTRON SS-4は、粒子を捕捉し、空気中の粒子の影響を低減し、プロセスの品質とクリーンルーム環境を向上させる真空フィルターコンポーネントを内蔵しています。このシステムには、微粒子の蓄積を防ぐスラリーフィルター、プロセス浄水装置、廃水排出を低減する洗浄水機も含まれています。さらに、SS-4は現在のCEおよびFCCの安全規制に準拠しており、既存のスクラバーおよびカセットシステムとも互換性があります。優れた性能と優れた信頼性を提供する効果的で効率的な自動スクラバーであり、あらゆる半導体加工施設にとって非常に貴重なツールです。