中古 TEL / TOKYO ELECTRON SS-4 #293658155 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SS-4は、半導体製造業におけるウェーハやマスクの洗浄用に設計されたウェーハ&マスクスクラバーです。ウェットスクラブとドライスクラブの両方を組み合わせて、表面の汚染物質を効果的に除去します。この装置は、ステンレス製のスクラブヘッドで構成されており、複数の先端が付いたブレードと剛毛が特定のパターンで移動して、汚染物質を脱落させて洗い流します。スクラブヘッドには、ウェーハまたはマスクサイズを検出するセンサーが装備されているため、ブラシは最適な洗浄結果を提供するために位置を調整することができます。また、TEL SS-4は高精度のメインスピンドルを備えており、スクラブ中にウェーハやマスクを完全に保持し回転させることができます。これにより、ウェーハとマスクのすべての表面が効果的にきれいになることが保証されます。TOKYO ELECTRON SS-4は、制御された調整可能なプロセス領域を有し、オペレータに清潔で安全な環境を提供します。その調節可能なプロセス速度は精密にスクラブ操作を完了することを可能にします。このシステムには、ウェットスクラブ操作用の洗浄液リザーバーも装備されています。流体は、通常、DI水と穏やかな洗剤の最適な混合物であり、ウェーハとマスク表面から汚染物質を持ち上げて運ぶのを助けるために使用されます。スクラビングプロセスは特別な、高精度のクリーニングモーションコントローラーによって制御され、クリーニングプロセスの正確さそして再現性を保障します。SS-4は使いやすく、維持しやすい信頼でき、安全な単位です。それは高度な技術を提供し、オペレータにプロセス速度および圧力を調節する柔軟性を与え、また特定のクリーニングの必要性に適するためにクリーニングサイクルの時間および変数を制御する機能を与えます。すべてのプロセスパラメータが業界最高水準を満たしていることを確認するために、パフォーマンステストと検証を機械で行うこともできます。要するにTEL/TOKYO ELECTRON SS-4は、ウェットとドライスクラブの両方を使用して、ウェーハやマスクを洗浄するために設計された強力で費用対効果の高い洗浄ツールです。業界最高水準を満たすための高度な技術を提供する、信頼性が高く安全で正確な資産です。