中古 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300z #293649537 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON NS 300zは、高性能な基板洗浄を実現するウェーハ&マスクスクラバーです。粒子除去に優れ、高度な生産工程で必要とされるナノレベルまでの粒子汚染を可能にします。この装置は、正確で低レベルの汚染制御を提供するように設計されており、クリーンで均一なフィルムカバレッジを保証する独自のワイパーシステムを利用しています。このウェーハとマスクスクラバーは、スピンと圧力の微妙なバランスでスピンプロファイルを生成するラジアルフローコントロールにより、正確で信頼性の高いスピンプロセスを提供し、フィルム上で同様に深い湿潤作用を可能にします。ウェーハやマスクなどの基板を高精度にスクラブすることで、汚染対策を最大限にする効率的で精密な基板洗浄プロセスを実現します。これは、統合されたデバイス層マイクロコントローラと使いやすいタッチスクリーンで設計されており、ユーザーはスクラビングプロセスを正確に制御できます。さらに、堅牢で近代的な構造により、メンテナンス作業が低くなります。また、スクラビングプロセス中にエアバブルをウェーハ/マスクにポンプで送り込み、基板表面に静電気がないようにするユニークなバブルポンプツールを備えており、ほこりやその他の汚れから安全に保ちます。さらに、バブルポンプアセットは、スクラビングサイクル後に基板を洗浄する必要性を排除します。このモデルはまた、高温基板で動作するために必要な信頼性の高い冷却をユーザーに提供する強力な換気および冷却装置を提供します。また、振動を最小限に抑え、ウェーハやマスクの損傷をできるだけ低減するために設計された低振動設計を採用しています。TEL NS 300zウェーハおよびマスクスクラバーは、効率的で正確かつ低レベルの汚染制御を提供します。このユニットは、高精度スクラブ用に設計されており、信頼性の高い低メンテナンス操作を提供します。高度なバブルポンプ、基板冷却工具、振動低減アセットとともに、堅牢で近代的な構造により、東京エレクトロンNS300Zは、すべての基板が意図された生産プロセスに対して清潔で安全で信頼性の高いものであることを保証します。