中古 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300z #293649536 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON NS 300z
ID: 293649536
Wafer scrubber.
TEL/TOKYO ELECTRON NS 300zは、シングルウェーハ加工用に設計されたウェーハ&マスクスクラバーです。2マイクロメートル程度の厚さの超薄型ウエハの洗浄などに適しています。この装置は、特許取得済みの独自の洗浄方法を使用して、シリコン、石英、その他のエキゾチックな材料を含むさまざまなウェーハを効率的かつ安全に洗浄する方法を提供します。このシステムには、ロボットアーム、自動ノズルキャリア、およびスクラバーの最適な動作を維持するための自動再調整ユニットが含まれています。TEL NS 300zウェーハおよびマスクスクラバーは、+/-2um内で均一で、さまざまなサイズのウェーハを洗浄するように設計されています。ウェーハ表面に残留物が残らないよう、強力な吸引装置を装備しています。さらに、完全な80°ノズルカバレッジにより、ウェーハ全体を徹底的に洗浄できます。スクラバーは、自動ノズルキャリアアライメント、自動校正ツール、調整可能なプロセス時間も提供しており、ユーザーは徹底的なクリーンを達成するために必要な時間を調整することができます。TOKYO ELECTRON NS300Zの追加の安全機能には、帯電防止、防振フレーム、調整可能な角度保護バリア、およびユーザーがステーションを離れるときにアクティブになる自動シャットオフなどがあります。スクラバーはまた、自己活性マグネットを使用して洗浄液の霧化を最適化することにより、ノズルのチップ寿命を延長しています。最後に、ユニークな低圧フローアセットにより、ウェーハの混入に対するさらなる保護が追加され、徹底的で効率的なクリーニングセッションが保証されます。結論として、TEL NS300Zウェーハおよびマスクスクラバーは、これまでにないレベルの安全性と性能を備えた高度なクリーニングを提供するように設計されています。このモデルは使いやすく、さまざまなウエハータイプの効率的で正確な洗浄を容易にするさまざまな機能を備えています。NS 300zは、低圧流量装置と調整可能な角度保護バリアに加えて、混乱や残留物を最小限に抑えて徹底的に均一に清潔にする独自の洗浄方法を備えています。
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