中古 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #9361632 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON NS 300は、半導体業界で使用するために設計された先進的なウェーハおよびマスクスクラバーです。このデバイスは、スクラブ動作によりより低い粒子数を生成することができ、ICの歩留まりと信頼性が向上します。自動化された3軸モーションコントロールシステムにより、精度を高め、デュアルサイドスクラブアームとトップサイドスクラブジェット技術を備えています。TEL NS 300には、最初のスクラブ、バッフィング、洗浄サイクルを含む3つの異なる段階のスクラブが装備されています。機械はGaAs、 Si、ポリイミド、エポキシおよび接着剤を含む材料の広い範囲をきれいにするように設計されています。3軸モーションコントロールシステムを使用して、スクラブアームをウェーハ表面に正確に移動させます。デュアルサイドスクラブアームとトップサイドスクラブジェット技術は、ウェーハの損傷を避けながら、ウェーハ表面から粒子や汚染物質を効果的に除去するように設計されています。3段階のスクラビングサイクルは、まずウェーハ表面から粒子と有機汚染物質を除去し、その後にバッフィングを行い、最後に洗浄サイクルを行います。TOKYO ELECTRON NS300は、掃除機、後方散乱防止フィルター、フィルターオフタイムセンサーなど、さまざまな安全機能を備えています。掃除機は汚染された空気や塵がスクラバーに侵入するのを防ぎ、背面散乱抵抗性フィルターは装置を微細な粒子や紫外線の損傷から保護します。フィルターオフ時間センサは、一定時間後に自動的に機械の動作を停止し、さらなる汚染を最小限に抑えます。この機械はコンパクトで高効率で、エネルギー効率比は最大20です。また、ユーザーが即座に調整することができます制御機能の広い範囲が装備されています。調節可能なスクラビング速度、および調整可能なスクラブパッド圧力は、スクラビングサイクルの力を増加または減少させ、ユーザーがウエハの特定の要件に合わせてスクラビングプロセスを調整することができます。TEL/TOKYO ELECTRON NS300は、高度なスクラブ能力に加え、部品の自動洗浄やメンテナンスを標準装備し、使いやすくメンテナンスも容易です。その直感的なユーザーインターフェイスとグラフィカルディスプレイは、ユーザーに常に明確で簡潔なガイダンスを提供します。これにより、ユーザーは高レベルのプロセス制御を維持できるため、問題を迅速かつ簡単にトラブルシューティングできます。全体として、NS 300は高度で信頼性の高いウェーハおよびマスクスクラバーであり、さまざまなアプリケーションで優れた性能を発揮するように設計されています。優れた洗浄機能と高度な制御機能により、ユーザーは迅速かつ正確にウェーハを洗浄することができ、最も効率的で費用対効果の高い高品質の製品を生産することができます。