中古 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #9228401 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON NS 300は、半導体プロセス用に設計されたウェーハ&マスクスクラバーです。高効率・低粒子加工が可能です。TEL NS 300は自動化されたウェーハスクラブ操作を提供します。これは、手動アプローチが非効率である可能性がある大規模なプロセス実行にとって重要です。これには、プロセスチャンバーにロードする前に基板の端をスクラブし、使用済みホルダーをクリーニングし、処理後にクリーニング操作を完了することが含まれます。スクラバーには、ウェーハとプロセスホルダーをサポートするメインプラットフォームと、ウェーハまたはマスクをしっかりと固定してスクラブ用に回転させるための「アーム」のセットが装備されています。水平回転または垂直回転が可能で、速度は7000 RPMです。スクラバーには、エッチングソリューション用の専用タンク装置もあり、自動充填および排水システムがあります。スクラバーには、液体洗浄剤と粉体洗浄剤の両方を扱うことができる2つの洗浄ディスペンサーが装備されています。これらは、高い回転数でスピンされている間に基板とプロセスホルダーに分配されます。スクラバーは、粒子をトラップして転送容器に堆積させる統合真空ユニットなど、粒子汚染を最小限に抑えるための効率的な機能を備えています。このスクラバーは、0。5 μ m以上の粒子を監視するパーティクルカウンターと、認定された遠隔地からスクラバーを制御できる高度なリモートコントロールマシンを備えています。NS 600は、粒子汚染を最小化するためのSEMI S2規格に準拠しており、そのクラスの中で最も効率的です。業界をリードするこの製品は、クリーンで効率的な半導体プロセスの開発につながります。