中古 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #293802342 を販売中

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON NS 300は、半導体デバイスの洗浄に特化したウェーハ&マスクスクラバーです。このシステムは、研磨洗浄の一種であるスクラブを利用して、ウェーハやマスクの表面から粒子や化学物質などの汚染を除去します。ウェーハとマスクの両面をスクラブすることで、より高いスループット、フォトレジスト除去の向上、クリーニング制御の向上を実現します。TEL NS 300は水平スクラビングプラットフォームを備え、ウェーハとマスクの両方に、より大きく、より安定したスクラビングサーフェスを提供します。プラットフォームには3つのスクラブチャンバーがあり、それぞれに独立したスクラブソリューションが含まれています。これにより、正確で調整可能なスクラブ力と速度が可能になり、ウェーハまたはマスク表面からの粒子や汚染を最適に除去できます。また、汎用性と機能性が高く、複数のウェーハやマスクを同時にスクラブすることができます。スクラバーは、傷、ほこり、およびウェーハやマスクの品質を低下させる可能性のあるその他の汚染物質などの粒子除去のリスクを最小限に抑えるように設計されています。スクラビング中、プラットフォームは、高速スクラビング処理から生成された粒子が除去され、ウェーハやマスク表面に粒子が残っていないことを保証する穏やかな液体の流れで溢れています。最大の効率と有効性を確保するために、スクラバーには、ウェーハまたはマスクの表面に特大または特大の粒子を検出する「スマート検出」システムが装備されており、スクラバー設定を即座に調整できます。東京電子NS300は、半導体表面への粒子の吸着を防ぐ衝撃吸収真空システムを内蔵しています。これにより、汚染の潜在的なリスクを大幅に低減し、安全で信頼性の高いスクラブ操作を提供します。スクラバーは、洗浄剤としての液体やガスの使用にも対応しており、洗浄プロセスのさらなる柔軟性を可能にします。TEL NS300は、半導体業界にとって信頼性と汎用性の高いスクラビングオプションであることが証明されています。耐久性を確保するために強力な合金材料で製造されており、粒子除去の改善と長寿命で高いスループットを提供することができます。TEL/TOKYO ELECTRON NS300は、複数のスクラブチャンバーと調整可能なスクラブスピードにより、ウェーハやマスクを正確かつ効果的に洗浄し、最適な品質管理を実現します。