中古 TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta+ #9182405 を販売中
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販売された
ID: 9182405
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
Single wafer processing system, 12"
Application used: FEOL
Chamber 2-1:
Process: SC1
Chemical: NH4OH/DIW(1:500)(1000ml/min,60deg)
Spin rotation: 1000 rpm with IPA(190ml/min,25deg)
Chuck type: Mechanical chuck
Chamber 2-2:
Chemical: NH4OH/DIW(1:500)(1000ml/min,60deg)
Spin rotation: 1000 rpm With IPA(190ml/min,25deg)
Chuck type: Mechanical chuck
Chamber 2-3:
Chemical: NH4OH/DIW(1:500)(1000ml/min,60deg)
Spin rotation: 1000 rpm With IPA(190ml/min,25deg)
Chuck type: Mechanical chuck
Chamber 2-4:
Chemical: NH4OH/DIW(1:500)(1000ml/min,60deg)
Spin rotation: 1000 rpm With IPA(190ml/min,25deg)
Chuck type: Mechanical chuck
Chamber 2-5:
Chemical: NH4OH/DIW(1:500)(1000ml/min,60deg)
Spin rotation: 1000 rpm With IPA(190ml/min,25deg)
Chuck type: Mechanical chuck
Chamber 2-6:
Chemical: NH4OH/DIW(1:500)(1000ml/min,60deg)
Spin rotation: 1000 rpm With IPA(190ml/min,25deg)
Chuck type: Mechanical chuck
Chamber 2-7:
Chemical: NH4OH/DIW(1:500)(1000ml/min,60deg)
Spin rotation: 1000 rpm With IPA(190ml/min,25deg)
Chuck type: Mechanical chuck
Chamber 2-8:
Chemical: NH4OH/DIW(1:500)(1000ml/min,60deg)
Spin rotation: 1000 rpm With IPA(190ml/min,25deg)
Chuck type: Mechanical chuck
Chamber 2-9:
Chemical: NH4OH/DIW(1:500)(1000ml/min,60deg)
Spin rotation: 1000 rpm With IPA(190ml/min,25deg)
Chuck type: Mechanical chuck
Chamber 2-10:
Chemical: NH4OH/DIW(1:500)(1000ml/min,60deg)
Spin rotation: 1000 rpm With IPA(190ml/min,25deg)
Chuck type: Mechanical chuck
Chamber 2-11:
Chemical: NH4OH/DIW(1:500)(1000ml/min,60deg)
Spin rotation: 1000 rpm With IPA(190ml/min,25deg)
Chuck type: Mechanical chuck
Chamber 2-12:
Chemical: NH4OH/DIW(1:500)(1000ml/min,60deg)
Spin rotation: 1000 rpm With IPA(190ml/min,25deg)
Chuck type: Mechanical chuck
Currently stored in cleanroom
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CELLESTA+は、高精度の半導体ウェーハ製造用に設計された最先端のウェーハおよびマスクスクラバーです。強力なスクラビング機構は、ウェーハ表面に損傷や汚染を与えることなく徹底的な洗浄を行い、高度な洗浄アルゴリズムはさまざまな技術に適応し、信頼性の高い一貫した洗浄プロセスを提供します。TEL Cellesta+には、強力な気流を利用した高性能ダストエクストラクターを搭載し、効率的なダスト除去プロセスを実現しています。直径8インチまでのシリコンオンインシュレーター（SOI）ウェーハとバルクウェーハの両方に対応できます。ウェーハハウジング内には、産業用グレードのスクラバーブラシと、クリーニング面とウェーハ面の接触面積を増加させるオーディオ周波数振動ノズルからなるクリーニングプラットフォームがあります。この複合技術は、レイテンシを最小限に抑え、運用コストを削減し、非常に効果的なクリーニング操作を実現します。東京エレクトロンセレスタ+には、シームレスな表面検査のための統合ビジョンシステムと独立した光源もあります。表面の損傷、汚染、マイクロクラック、ピット、およびその他の潜在的な生産上の問題を検出し、対処する必要がある問題をユーザーに警告することができます。このリアルタイムフィードバックは、製造プロセス全体にわたってウェーハの品質を維持するのに役立ちます。スクラバーは環境に優しく、堅牢な安全システムによって支えられています。停電時に自動的に遮断されるように設計されており、低騒音動作を実現しています。さらに、ハイエンドコントロールユニットはリモートコマンドとエラー診断を提供し、効率的なトラブルシューティングを可能にします。全体として、Cellesta+は優れたウェーハクリーニング、表面ビジョン、およびダスト抽出機能を提供し、高度なウェーハ生産に最適なソリューションです。
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