中古 TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta #67641 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CELLESTAは、半導体業界で使用されるフォトマスクやウエハーの精密かつ信頼性の高い洗浄に焦点を当てたウェーハ&マスクスクラバーです。クリーニングウエハーの優れた速度と効率を提供します。TEL Cellestaには、石英、光学フラット、石英、ガラスなど、幅広いフォトマスクを効果的に洗浄する4つのモデルがあります。東京エレクトロンセレスタは、フッ化水素などの溶液でマスクやウェーハ表面を洗浄するウェットエッチングを使用しています。ウェットエッチングプロセスは、フォトマスクの欠陥を引き起こす可能性のある粒子や汚染物質を除去するのに役立ちます。最終製品の品質を維持しながら、ウェーハやマスクに完璧なプリントを保証します。Cellestaは、適切な洗浄を確実にするために3段階のプロセスを使用します。最初のステップでは、化学スクラバーがエッチング溶液を受け入れるためにウェーハ表面を準備します。これは、表面からすべての汚染物質を解放するのに役立ちます。2番目のステップでは、精密で均一なノズルで、エッチング溶液をウェハの表面に噴霧します。これは、ウェーハからの粒子、汚染物質、有機残留物を化学組成や敏感な光学特性を損なうことなく溶解するのに役立ちます。3番目のステップでは、TEL/TOKYO ELECTRON CELLESTAを使用することで、高エネルギービームを使用してエッチング液を蒸発させることができます。TEL Cellestaには、マスクやウェーハ表面の残留汚染を低減する紫外線を利用した酸化還元モジュールも追加されています。これは、より良いエッチングソリューションを作成し、洗浄時間を短縮するのに役立ちます。さらに、ハイテク制御システムは、汚染を最小限に抑え、エッチングソリューションの化学的使用量を追跡し、廃棄物とコストを最小限に抑えるのに役立ちます。TOKYO ELECTRON CELLESTAは、効率的なウェーハとマスクスクラバーで、フォトマスクやウェーハを最高の精度で洗浄します。それは最終製品の化学組成と光学特性を維持するのに役立ちます。