中古 TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta+ #293637143 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta+
ID: 293637143
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
Single wafer processor, 12" (4) Loadports (20) Chambers 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta+は、高純度の半導体や集積回路の製造用に設計された装置です。このシステムは、プロセスで使用されるウェーハやマスクの洗浄、洗浄、洗浄が可能です。複数のサイズのウェーハを処理することができる完全に自動化された効率的なプロセスを提供するように設計されています。TEL Cellesta+は、ProCleanerユニット、ProScrubberユニット、デブリ収集トレイで構成されています。ProCleanerは、デュアルタンクユニットを使用して、正確な圧力と温度制御された水を提供します。これは、高品質のウェーハとマスククリーニングを実現するのに役立ちます。ProScrubberにはウェーハ/マスクスクラビングフィンが装備されており、酸、アルカリ、中性スクラビング液体を使用して正確な洗浄が可能です。ProScrubberは、スクラビング時間を短縮するために、スクラビングソリューションの温度および圧力制御を実行することもできます。破片収集トレイは、スクラブ処理に起因する残りの粒子を収集します。TOKYO ELECTRON CELLESTA+はユーザーフレンドリーで使いやすいように設計されています。タッチパネルディスプレイを搭載し、オペレータが必要な設定を素早く簡単に選択することができます。ディスプレイはまた、ユーザーがマシンの状態を監視することができます、スクラビングプロセスの進捗状況やタンク内の残りのソリューションのレベルなど。このツールには、温度センサ、圧力バルブ、およびその他の安全機能などの複数の安全機能も装備されています。これらの安全機能は、水漏れや汚染の可能性を低減するのに役立ちます。全体として、Cellesta+は、半導体およびIC製造に使用されるウェーハやマスクの洗浄とスクラブのための高度に自動化された効率的なプロセスを提供するように設計された先進的な資産です。精密な圧力と温度制御水、温度と圧力制御されたスクラビングソリューション、および様々な安全機能を通じて、モデルは短時間で高品質でクリーンな結果を達成することができます。
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